[發明專利]真空吸嘴組件

有效

• 申請號: 201711457674.4
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN108183084B
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發明（設計）人: 饒樺強;毛輝寒
• 申請（專利權）人: 英特爾產品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/68
• 代理公司: 北京永新同創知識產權代理有限公司 11376
• 代理人: 鐘勝光

1.一種真空吸嘴組件(30)，包括：

非接觸式真空吸力發生裝置(10)，其用于產生吸力，以在不接觸對象(14)的情況下，拾取和放置所述對象(14)；以及

限位機構(20)，其與所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)連接，在所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)產生吸力以拾取所述對象(14)時，通過接觸所述對象(14)的邊緣限制所述對象(14)的位置，其中，所述限位機構(20)還包括：

中空的固定框架(21)；以及

一個或多個連接裝置(22)，其用于將所述固定框架(21)與所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)連接；

其中，每個所述連接裝置(22)從所述固定框架(21)的一個端面延伸，并且與所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)連接，所述固定框架(21)和所述一個或多個連接裝置(22)共同限定一空間(S)，當所述連接裝置(22)與所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)連接時，所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)能夠在所述空間(S)內產生吸力。

2.根據權利要求1所述的真空吸嘴組件(30)，其中，所述限位機構(20)包括從所述固定框架(21)的接近所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)的一端向所述空間(S)內延伸的限位突起。

3.根據權利要求1或2所述的真空吸嘴組件(30)，其中，所述一個或多個連接裝置(22)是多個夾持部(22)，在每個所述夾持部(22)的一端設置有第一部分(24)，所述第一部分(24)具有用于支撐所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)的第一表面(27)和用于在所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)產生吸力以拾取所述對象(14)時限制所述對象(14)的位置的第二表面(28)。

4.根據權利要求1所述的真空吸嘴組件(30)，其中，所述限位機構(20)與所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)可拆卸地連接。

5.根據權利要求1所述的真空吸嘴組件(30)，其中，所述限位機構(20)還包括：

在所述固定框架(21)內側或者遠離所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)的一端的端面上設置的一個或多個定位部(23)。

6.根據權利要求3所述的真空吸嘴組件(30)，其中，每個所述夾持部(22)還包括在與所述第一部分(24)相對的一端設置的第二部分(26)，所述第二部分(26)和所述第一部分(24)用于將所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)在所述第二部分(26)和所述第一部分(24)的第一表面(27)之間卡緊。

7.根據權利要求6所述的真空吸嘴組件(30)，其中，所述夾持部(22)還包括設置在所述第一部分(24)和所述第二部分(26)之間的第三部分(25)，當所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)在所述第二部分(26)和所述第一部分(24)的第一表面(27)之間卡緊時，所述第三部分(25)的表面與所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)的表面接合。

8.一種拾取和放置工具(40)，包括：

氣管(41)，其用于輸送加壓氣體(F)；

氣流控制器(42)，其與所述氣管(41)相連，用于控制從所述氣管(41)提供的所述加壓氣體(F)的量；

根據權利要求1-7中任一項所述的真空吸嘴組件(30)，其具有在所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)上設置的氣孔(11)；以及

連接頭(43)，其位于所述氣流控制器(42)和所述真空吸嘴組件(43)之間，用于連接所述氣管(41)和所述氣孔(11)，以通過所述氣管(41)向所述非接觸式真空吸力發生裝置(10)供應所述加壓氣體(F)。

9.根據權利要求8所述的拾取和放置工具(40)，其中，

所述加壓氣體(F)包括無油空氣。