[發(fā)明專利]一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711456568.4
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN108085642A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發(fā)明（設計）人: 彭壽;沈洪雪;姚婷婷;楊勇;金克武
• 申請（專利權）人: 中建材蚌埠玻璃工業(yè)設計研究院有限公司
• 主分類號: C23C14/06
• 分類號: C23C14/06;C23C14/34
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標事務所 34113
• 代理人: 尹杰

1.一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、對襯底材料進行超聲波清洗，去除表面油污和雜質；

步驟二、把樣品置于360°無死角旋轉的樣品臺上；

步驟三、啟動設備，抽真空，真空度達到2.5*10-4-3.5*10-4時，通入氬氣，使W、C兩靶同時起輝，并進行8-12分鐘的預濺射，活化靶材和去除表層氧化物；

步驟四、通過氬氣轟擊W、C兩靶材，活化靶材和去除表層氧化物；

步驟五、通入氮氣，啟動旋轉樣品臺，制備W、N共摻雜類金剛石薄膜。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于：所述襯底材料為玻璃。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于：步驟四中所述真空度為3.0*10-4時，預濺射時間為10分鐘。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于：所述旋轉樣品臺包括樣品架（1），在樣品架（1）上設有旋轉座（2），在旋轉座（2）上轉動配合連接伸縮桿（3），伸縮桿（3）通過球頭（4）連接支撐桿（5），在支撐桿（5）上固定連接托盤（6）。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于：所述樣品架（1）為桿狀結構，所述旋轉座（2）包括與樣品架（1）套接的轉筒（7），在轉筒（7）上通過鉸接座（8）連接所述伸縮桿（3），轉筒（7）通過第一鎖緊件（9）鎖緊固定在所述樣品架（1）上，所述伸縮桿（3）通過第二鎖緊件（10）鎖緊固定在所述鉸接座（8）上。

6.根據(jù)權利要求4所述的一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于：所述伸縮桿（3）包括底桿（11），在底桿（11）上套接調節(jié)桿（12），在調節(jié)桿（12）的一側設有套接在底桿（11）上的套筒（13），調節(jié)桿（12）連接所述球頭（4），底桿（11）和所述調節(jié)桿（12）之間通過第三鎖緊件（14）鎖緊固定。

7.根據(jù)權利要求1所述的一種制備W和N共摻雜類金剛石薄膜的方法，其特征在于：在整個鍍膜過程中所述W、C兩靶材都是單獨起輝。