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[發明專利]可飽和吸收體制備方法、可飽和吸收體及鎖模激光器在審

專利信息
申請號: 201711455794.0 申請日: 2017-12-28
公開(公告)號: CN109980491A 公開(公告)日: 2019-07-05
發明(設計)人: 曾遠康;陶麗麗;曾龍輝;龍慧 申請(專利權)人: 香港理工大學
主分類號: H01S3/098 分類號: H01S3/098
代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003 代理人: 李昕巍;章侃銥
地址: 中國香港九龍紅磡理*** 國省代碼: 中國香港;81
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摘要:
搜索關鍵詞: 可飽和吸收 可飽和吸收體 鎖模激光器 熱處理 鉑薄膜 管式爐 硒化 制備 薄膜 磁控濺射法 低溫區 高純硒 石英襯 沉積 申請 上游
【權利要求書】:

1.一種可飽和吸收體制備方法,其特征在于,包括:

通過磁控濺射法在石英襯底上沉積鉑元素薄膜;

將所述鉑元素薄膜放置于管式爐中進行熱處理以獲取二硒化鉑薄膜,其中,在熱處理中,管式爐上游低溫區放置高純硒粉;以及

通過所述二硒化鉑薄膜制備可飽和吸收體。

2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,通過磁控濺射法在石英襯底上沉積厚度為10nm的均勻連續的鉑元素薄膜。

3.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述熱處理中,

上游低溫區溫度為220℃,中心溫度為450℃;

升溫到450℃的時間為45分鐘,保溫時間為90分鐘后自然冷卻至室溫。

4.一種可飽和吸收體,其特征在于,

所述可飽和吸收體為如權利要求1-3任一項方法制備的可飽和吸收體。

5.一種鎖模激光器,其特征在于,包括:

泵浦光源;

諧振腔;以及

可飽和吸收體,所述可飽和吸收體的為如權利要求1-3任一項方法制備的可飽和吸收體。

6.如權利要求5所述的鎖模激光器,其特征在于,所述泵浦光源為808nm的半導體激光器。

7.如權利要求5所述的鎖模激光器,其特征在于,所述諧振腔為W型諧振腔。

8.如權利要求5所述的鎖模激光器,其特征在于,所述諧振腔包括:

激光增益介質,所述激光增益介質為Nd:LuVO4,Nd3+摻雜濃度為0.5%,晶體尺寸為3×3×8mm3

第一平面鏡、第二平面鏡、第三平面鏡,以及第一凹透鏡、第二凹透鏡;

所述第一平面鏡、第二平面鏡、第三平面鏡,以及第一凹透鏡、第二凹透鏡均鍍808nm高透膜和1064nm高反膜。

9.如權利要求8所述的鎖模激光器,其特征在于,

所述第一平面鏡輸出比例為3%;

所述第一凹透鏡的曲率半徑為1000mm;以及

第二凹透鏡的曲率半徑為300mm。

10.如權利要求8所述的鎖模激光器,其特征在于,

所述第一平面鏡與所述激光增益介質之間的距離為32mm;

所述激光增益介質與所述第二平面鏡之間的距離為119mm;

所述第一平面鏡與所述第一凹透鏡之間的鏡間距離為490mm;

所述第一凹透鏡與所述第二凹透鏡之間的鏡間距離為1140mm;

所述第二凹透鏡與所述第三平面鏡之間的鏡間距離155mm;以及

所述可飽和吸收體與所述第三平面鏡之間的距離為3mm。

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