[發明專利]可飽和吸收體制備方法、可飽和吸收體及鎖模激光器在審
| 申請號: | 201711455794.0 | 申請日: | 2017-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN109980491A | 公開(公告)日: | 2019-07-05 |
| 發明(設計)人: | 曾遠康;陶麗麗;曾龍輝;龍慧 | 申請(專利權)人: | 香港理工大學 |
| 主分類號: | H01S3/098 | 分類號: | H01S3/098 |
| 代理公司: | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;章侃銥 |
| 地址: | 中國香港九龍紅磡理*** | 國省代碼: | 中國香港;81 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 可飽和吸收 可飽和吸收體 鎖模激光器 熱處理 鉑薄膜 管式爐 硒化 制備 薄膜 磁控濺射法 低溫區 高純硒 石英襯 沉積 申請 上游 | ||
1.一種可飽和吸收體制備方法,其特征在于,包括:
通過磁控濺射法在石英襯底上沉積鉑元素薄膜;
將所述鉑元素薄膜放置于管式爐中進行熱處理以獲取二硒化鉑薄膜,其中,在熱處理中,管式爐上游低溫區放置高純硒粉;以及
通過所述二硒化鉑薄膜制備可飽和吸收體。
2.如權利要求1所述的方法,其特征在于,通過磁控濺射法在石英襯底上沉積厚度為10nm的均勻連續的鉑元素薄膜。
3.如權利要求1所述的方法,其特征在于,所述熱處理中,
上游低溫區溫度為220℃,中心溫度為450℃;
升溫到450℃的時間為45分鐘,保溫時間為90分鐘后自然冷卻至室溫。
4.一種可飽和吸收體,其特征在于,
所述可飽和吸收體為如權利要求1-3任一項方法制備的可飽和吸收體。
5.一種鎖模激光器,其特征在于,包括:
泵浦光源;
諧振腔;以及
可飽和吸收體,所述可飽和吸收體的為如權利要求1-3任一項方法制備的可飽和吸收體。
6.如權利要求5所述的鎖模激光器,其特征在于,所述泵浦光源為808nm的半導體激光器。
7.如權利要求5所述的鎖模激光器,其特征在于,所述諧振腔為W型諧振腔。
8.如權利要求5所述的鎖模激光器,其特征在于,所述諧振腔包括:
激光增益介質,所述激光增益介質為Nd:LuVO4,Nd3+摻雜濃度為0.5%,晶體尺寸為3×3×8mm3;
第一平面鏡、第二平面鏡、第三平面鏡,以及第一凹透鏡、第二凹透鏡;
所述第一平面鏡、第二平面鏡、第三平面鏡,以及第一凹透鏡、第二凹透鏡均鍍808nm高透膜和1064nm高反膜。
9.如權利要求8所述的鎖模激光器,其特征在于,
所述第一平面鏡輸出比例為3%;
所述第一凹透鏡的曲率半徑為1000mm;以及
第二凹透鏡的曲率半徑為300mm。
10.如權利要求8所述的鎖模激光器,其特征在于,
所述第一平面鏡與所述激光增益介質之間的距離為32mm;
所述激光增益介質與所述第二平面鏡之間的距離為119mm;
所述第一平面鏡與所述第一凹透鏡之間的鏡間距離為490mm;
所述第一凹透鏡與所述第二凹透鏡之間的鏡間距離為1140mm;
所述第二凹透鏡與所述第三平面鏡之間的鏡間距離155mm;以及
所述可飽和吸收體與所述第三平面鏡之間的距離為3mm。
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