[發明專利]一種絕氧氣體的脫水除氧方法

有效

• 申請號: 201711455198.2
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN108069407B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 廖維林;陳飛彪;夏劍輝;邱曾燁;雷志偉
• 申請（專利權）人: 江西石華精細化工科技協同創新有限公司
• 主分類號: C01B21/04
• 分類號: C01B21/04;C01B23/00;C01B3/52;C01B3/56
• 代理公司: 江西省專利事務所 36100
• 代理人: 殷勇剛

1.一種絕氧氣體的脫水除氧方法，其步驟包括，

（1）將市售高純絕氧氣體先后經過4A分子篩柱和5A分子篩柱進行初濾；所述市售高純絕氧氣體為氮氣、氬氣、氫氣或氦氣，純度為不低于99.999%V/V的高純絕氧氣體，其水、氧含量均不大于3ppmV/V；

（2）初濾后的氣體通過金屬有機源液進行深度除水和氧；

（3）再將氣體通過活性炭柱處理，即得到超高純度絕氧氣體。

2.如權利要求1所述絕氧氣體的脫水除氧方法，其特征在于，步驟（2）所述金屬有機源液為三甲基鋁、三乙基鋁、三甲基鎵、三乙基鎵或金屬有機源提純后殘液；所述金屬有機源為三甲基鋁、三乙基鋁、三甲基鎵或三乙基鎵。

3.如權利要求1所述絕氧氣體的脫水除氧方法，其特征在于，步驟（3）所述活性炭柱中的活性炭粒度在60-100目，比表面積在2600-2800m²/g。

4.如權利要求1所述絕氧氣體的脫水除氧方法，其特征在于，所述金屬有機源液中加入液態有機胺，使金屬有機源的質量含量在10-20%，有機胺為三丁胺、三辛胺或二苯胺中的一種或多種組合。

5.如權利要求1所述絕氧氣體的脫水除氧方法，其特征在于，步驟（1）中所述4A分子篩柱和5A分子篩柱中的分子篩分別進行活化處理，活化過程的真空度小于300Pa，活化溫度不超過450℃，其中，100～200℃低溫脫水階段保持3-6h；200～450℃快速升溫階段，升溫速率5-8℃/min；400-450℃高溫脫除殘余水階段保持0.5-1h，活化后在超高純絕氧氣體中冷卻至室溫。