[發明專利]適用于脈沖激光鍍膜的防污裝置及其脈沖激光鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201711451129.4
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN108277461B
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 王松;朱佳敏;陳思侃;常同旭
• 申請（專利權）人: 上海超導科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28;C23C14/08;C23C14/56
• 代理公司: 上海段和段律師事務所 31334
• 代理人: 李佳俊

本發明提供一種適用于脈沖激光鍍膜的防污裝置及其脈沖激光鍍膜裝置，包括光路系統(2)；所述光路系統(2)包括擋板系統(213)；擋板系統(213)包括多層擋板(2131)、擋筒(2132)；擋板(2131)設置有通光孔(21311)；多層擋板(2131)在擋筒(2132)內部沿軸向依次間隔排列；擋板(2131)邊緣與擋筒(2132)內壁之間氣密連接；多層擋板(2131)的通光孔(21311)之間同軸設置或者不同軸設置，且形成直線通路，允許一沿直線傳播的光束通過。本發明能夠有效地阻止粉塵微粒的擴散，降低了激光通過光學鏡片時的損耗。

技術領域

本發明涉及超導材料技術領域，更具體地，涉及適用于脈沖激光鍍膜的防污裝置及其脈沖激光鍍膜裝置，尤其是涉及一種第二代高溫超導帶材超導層的適用于脈沖激光鍍膜的防污裝置及其脈沖激光鍍膜裝置。

背景技術

1911年荷蘭萊頓大學的卡末林·昂納斯教授在實驗室首次發現超導現象以來，超導材料及其應用一直是當代科學技術最活躍的前沿研究領域之一。在過去的十幾年間，以超導為主的超導電力設備的研究飛速發展，在超導儲能、超導電機、超導電纜、超導限流器、超導變壓器、超導磁懸浮、核磁共振等領域取得顯著成果。

相對于低溫超導材料而言，高溫超導材料的冷卻媒介由成本較高的液氦變為了成本較低的液氮，因此在高溫超導材料發現之后，人們就致力于實現高溫超導電性的應用。

目前進入商業化的高溫超導帶材分為鉍系和釔系。鉍系超導體即第一代超導材料，也稱BSCCO超導體；釔系超導體即第二代超導材料，也稱YBCO或ReBCO超導體。

以BSCCO為材料的第一代超導帶材，采用銀包套生產工藝，具有較高的超導轉變溫度(Tc～110K)。特別是其層狀的晶體結構導致的片狀晶體很容易在應力的作用下沿銅－氧面方向滑移。所以，利用把鉍－2223先驅粉裝入銀管加工的方法(PIT法)，經過拉拔和軋制加工，就能得到很好的織構。另外，在鉍－2223相成相熱處理時，伴隨產生的微量液相能夠很好地彌合冷加工過程中產生的微裂紋，從而在很大程度上克服了弱連接的影響。正由于這兩個基本特性，使人們通過控制先驅粉末、加工工藝及熱處理技術，成功地制備出了高性能長帶。

但是鉍系超導材料不可逆場Hirr低，材料的Jc(B)特性在77K和0.1T以上的外磁場下性能將有嚴重的退化。雖經過種種努力，如引入有效釘扎中心等，但迄今為止鉍系帶材能不能有效的在77K高磁場下運用，這也嚴重影制約了鉍系帶材的應用范圍。

以ReBCO(Re為稀土元素)為材料的第二代超導帶材，也被稱為涂層導體，因其具有相比鉍系帶材更強的載流能力、更高的磁場性能和更低的材料成本，在醫療、軍事、能源等眾多領域具備更廣更佳的應用前景。

作為第二代高溫超導的材料，YBCO晶體具有典型的缺氧鈣鈦礦結構，其b軸點陣常數略大于a軸，c軸的點陣常數約為a或b軸的3倍，晶格常數分別為正交相的YBCO晶格具有超導特性。通常認為正交相的YBCO是由四方相畸變而來的，其在結構上是不穩定的。但可以通過控制工藝條件來控制YBCO晶體由四方相到正交相的轉變。

YBCO的生長模式中，最常見的是延a軸生長和c軸生長兩種模式。因為YBCO薄膜延a軸和b軸的晶格常數相近，因此YBCO薄膜的沿a軸或者b軸生長，統稱為沿a軸生長，即YBCO薄膜的a軸或者b軸垂直于基底生長。YBCO薄膜延c軸生長，統稱為沿c軸生長，即YBCO薄膜的c軸垂直于基底生長。當YBCO薄膜沿a軸生長時，會形成單軸織構，容易引入大角度晶界，不利于電流在a-b面內傳輸；當YBCO薄膜沿c軸生長時，形成了雙軸織構，YBCO會有較高的Jc，因此一般希望YBCO薄膜沿c軸方向雙軸織構生長。