[發明專利]一種抗沖擊型石英擺片及其加工方法在審
| 申請號： | 201711447152.6 | 申請日： | 2017-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN108037313A | 公開（公告）日： | 2018-05-15 |
| 發明（設計）人： | 王勇;楊峰;彭志高;黃勇 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第二十六研究所 |
| 主分類號： | G01P15/00 | 分類號： | G01P15/00 |
| 代理公司： | 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212 | 代理人： | 黃河 |
| 地址： | 400060 *** | 國省代碼： | 重慶;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 沖擊 石英 及其 加工 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種抗沖擊型石英擺片，包括外環以及與所述外環通過撓性橋連接的擺舌，其特征在于，還包括輸出軸向限位結構及擺動軸向限位結構，其中：
所述輸出軸向限位結構沿所述石英擺片的輸出軸方向設置在所述外環的內側壁的兩側；
所述擺動軸向限位結構沿所述石英擺片的擺動軸方向設置在所述外環的內側壁的兩側。
2.如權利要求1所述的沖擊型石英擺片，其特征在于，所述外環的外側面上設置有對中槽，所述對中槽處于所述外環與所述撓性橋連接的一側且在所述石英擺片的擺動軸上。
3.一種抗沖擊型石英擺片的加工方法，其特征在于，所述抗沖擊型石英擺片的加工方法用于加工如權利要求1所述的抗沖擊型石英擺片，包括：
采用激光切割結合氫氟酸刻蝕相結合的方法，加工所述外環與所述擺舌間的鏤空間隙；
采用激光切割結合氫氟酸刻蝕相結合的方法，加工所述外環與所述撓性橋間的鏤空間隙；
采用激光打孔加工所述擺舌上的中心孔；
采用氫氟酸刻蝕的方法減薄所述撓性橋直至滿足要求的厚度；
所述激光小于10皮秒激光。
4.如權利要求1所述的抗沖擊型石英擺片的加工方法，其特征在于，所述外環的外側面上設置有對中槽，所述對中槽處于所述外環與所述撓性橋連接的一側且在所述石英擺片的擺動軸上。
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