[發(fā)明專利]石英過濾片及其制備方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711444234.5
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN108101573A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發(fā)明（設計）人: 胡丹;朱劉;于金鳳;解磊鵬
• 申請（專利權）人: 清遠先導材料有限公司
• 主分類號: C04B38/00
• 分類號: C04B38/00;C04B35/14;C04B35/63;B01D39/20
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 張向琨;高虹

本申請?zhí)峁┝艘环N石英過濾片及其制備方法。本申請以石英砂為骨料，以硅溶膠為粘結劑，通過冷壓成型后再燒結的方法得到石英過濾片，所述石英過濾片的孔隙率為40％～60％，且所述石英過濾片具有耐高溫、耐腐蝕的優(yōu)點，同時所述石英過濾片的孔結構基本上可以保持骨料顆粒的原始堆積方式，孔形規(guī)則，孔徑小而均一，使石英過濾片具有良好的過濾蒸汽的性能。本申請的石英過濾片的制備方法簡單易行、成本較低。

技術領域

本申請涉及氣體過濾技術領域，尤其涉及一種石英過濾片及其制備方法。

背景技術

化學氣相沉積(CVD)是一種制備材料的氣相生長方法，是將反應劑以氣相狀態(tài)在一定溫度下經(jīng)過熱分解或在氣相狀態(tài)下使不同反應劑分子之間發(fā)生化學反應而生成特定固體產物。因沉積溫度一般遠低于所沉積襯底材料的熔點，因此，易于得到高純度和結晶完整的膜層。同時，由于反應劑氣體和反應器壁及爐內其他構件不發(fā)生化學反應，故對膜層的污染少。由于紅外光學材料ZnS、ZnSe以及SiC等很難用熔體生長方法得到大尺寸(如直徑超過200mm)或異型形狀(如整流罩)，因此其大多采用CVD法制備。

在化學氣相沉積過程中，反應劑到達沉積襯底后，如果反應劑中有粉塵等雜質，這些雜質進入沉積區(qū)后會在空間成為異質成核中心，很容易在產品中形成夾雜。對于紅外光學材料，產品中的夾雜通常有云霧狀、花斑狀和點狀三種，而這三種無論哪一種都會導致產品的光學質量以及均勻性下降，嚴重影響成品率。

采用化學氣相沉積法制備ZnS、ZnSe等紅外光學材料時，常用固體Zn通過熔融蒸發(fā)獲得Zn蒸汽進入沉積區(qū)，熔融蒸發(fā)Zn所使用的溫度較高，且Zn在熔融蒸發(fā)過程中所使用的石墨坩堝難免會有粉塵夾雜，故Zn蒸汽要經(jīng)過過濾后才能進入沉積區(qū)作為反應劑參加反應。同時，由于采用CVD法制備ZnS、ZnSe等紅外光學材料的沉積周期通常超過15天，期間不能有任何中斷，因而對整個設備的穩(wěn)定性要求很高，這就要求所使用的過濾片在過濾Zn蒸汽的過程中能耐高溫且化學穩(wěn)定性強，且蒸汽過濾后不會出現(xiàn)堵塞等現(xiàn)象，避免導致沉積中斷。

發(fā)明內容

鑒于背景技術中存在的問題，本申請的一目的在于提供一種石英過濾片，所述石英過濾片具有孔隙率高、孔形規(guī)則、孔徑小而均一的優(yōu)點，且所述石英過濾片耐高溫、耐腐蝕。

本申請的另一目的在于提供一種石英過濾片的制備方法，所述石英過濾片的制備方法簡單易行、成本較低。

為了達到上述目的，在本申請的一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N石英過濾片，所述石英過濾片的孔隙率為40％～60％。

在本申請的另一方面，本申請?zhí)峁┝艘环N石英過濾片的制備方法，用于制備本申請一方面的石英過濾片，其包括步驟：將石英砂、硅溶膠加入去離子水中，充分攪拌混合均勻，之后置于模具中，冷壓成型后脫模，得到石英過濾片粗坯；將石英過濾片粗坯置于烘箱中干燥，之后置于燒結爐內進行燒結，燒結結束后降溫出爐，得到石英過濾片。

相對于現(xiàn)有技術，本申請的有益效果為：

本申請以石英砂為骨料，以硅溶膠為粘結劑，通過冷壓成型后再燒結的方法得到石英過濾片，所述石英過濾片具有耐高溫、耐腐蝕的優(yōu)點，同時所述石英過濾片的孔結構基本上可以保持骨料石英砂顆粒的原始堆積方式，使所述石英過濾片具有孔隙率高、孔形規(guī)則、孔徑小而均一的優(yōu)點，進而使所述石英過濾片具有良好的過濾蒸汽的性能。

本申請的石英過濾片的制備方法簡單易行、成本較低。

具體實施方式

下面詳細說明根據(jù)本申請的石英過濾片及其制備方法。

首先說明根據(jù)本申請第一方面的石英過濾片。

根據(jù)本申請一方面的石英過濾片包括骨料石英砂，所述石英過濾片的孔隙率為40％～60％。