[發(fā)明專利]一種基于CCD成像的光刻機(jī)相干因子測量方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711443663.0
• 申請日: 2018-03-27
• 公開（公告）號: CN108303855A
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹益平;蘇顯渝;張啟燦;向立群;陳文靜
• 申請（專利權(quán)）人: 四川大學(xué)
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種適用光刻機(jī)照明系統(tǒng)相干因子的在線進(jìn)行測量方法，其特征在于CCD圖像傳感器代替?zhèn)鹘y(tǒng)的光刻膠，利用其響應(yīng)速度快、靈敏度高、噪聲低、動(dòng)態(tài)范圍大等特點(diǎn)，在掩模面處放置測量裝置進(jìn)行實(shí)時(shí)相干因子測量，測量過程根據(jù)小孔成像原理和相干因子定義，在掩模面處測量光瞳像上能量分布，使用計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行編程并對采集數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理，得到照明系統(tǒng)相干因子，具有重復(fù)利用率高、測量方法簡便、測量誤差小的特點(diǎn)。

2.一種適用光刻機(jī)照明系統(tǒng)相干因子的在線進(jìn)行測量方法，其特征在于CCD圖像傳感器代替?zhèn)鹘y(tǒng)的光刻膠，利用其響應(yīng)速度快、靈敏度高、噪聲低、動(dòng)態(tài)范圍大等特點(diǎn)，在掩模面處放置測量裝置進(jìn)行實(shí)時(shí)相干因子測量，測量過程根據(jù)小孔成像原理和相干因子定義，在掩模面處測量光瞳像上能量分布，使用計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行編程并對采集數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理，得到照明系統(tǒng)相干因子，具有重復(fù)利用率高、測量方法簡便、測量誤差小的特點(diǎn)。

3.按照權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述的掩模面位置，是指帶有小孔的擋板所在的位置，整個(gè)檢測系統(tǒng)由3大功能模塊組成：CCD探頭模塊，其組成部分包括帶有針孔的擋板、準(zhǔn)直透鏡、CCD圖像傳感器、手動(dòng)XY微小位移調(diào)節(jié)臺、探頭密封外罩、基座，功能是測量掩模面上各點(diǎn)的相干因子，檢測時(shí)，針孔擋板位于掩模面上，照明系統(tǒng)光瞳像經(jīng)過小孔再次成像于CCD感光面上，手動(dòng)控制微小位移調(diào)節(jié)臺調(diào)整針孔，透鏡組，CCD，使得三部分的中心位于同一直線上，除此以外探頭還留有線路窗口，方便走線，整個(gè)探頭位于基座上，可獨(dú)立移動(dòng)，檢測時(shí)安裝于XY步進(jìn)掃描臺，CCD與計(jì)算機(jī)通信采用USB2.0接口協(xié)議。

4.按照權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，掃描控制模塊由XY掃描控制臺與驅(qū)動(dòng)器組成，它的功能是在計(jì)算機(jī)的控制下帶動(dòng)CCD探測模塊在光場中掃描，通過PCI卡與計(jì)算機(jī)連接，照明光經(jīng)小孔成像后經(jīng)過透鏡，然后再投射到CCD傳感器上，得到光瞳像上能量分布，擋板位置由XY掃描平臺控制，測量系統(tǒng)從掩模面的左上角向右按照設(shè)計(jì)好的步長和速度進(jìn)行掃描測量，到達(dá)最右端時(shí)，向縱向走一個(gè)步長量，然后再反向沿橫向掃描回去，以此類推，最終將整個(gè)測量面掃描完。

5.按照權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，數(shù)據(jù)采集和處理模塊，包括計(jì)算機(jī)，數(shù)據(jù)采集卡和軟件編程，其作用是控制掃描控制模塊和 CCD探頭，同時(shí)進(jìn)行數(shù)據(jù)的存儲與分析。