[發明專利]ArF準分子激光光場能量均勻性檢測的能量探測器設計方法在審
| 申請號： | 201711443199.5 | 申請日： | 2017-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN107941331A | 公開（公告）日： | 2018-04-20 |
| 發明（設計）人： | 曹益平 | 申請（專利權）人： | 四川大學 |
| 主分類號： | G01J1/42 | 分類號： | G01J1/42;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610065 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | arf 準分子激光 能量 均勻 檢測 探測器 設計 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種適用于光學投影曝光光刻機中檢測脈沖激光光場均勻性的方法，其特征在使用探針步進掃描法來控制紫外傳感器，并在獲得電流信號以后對其進行I/V轉換，前置放大，積分處理和AD轉換等處理，通過計數和同步控制邏輯對光場能量進行探測，并在通過單片機后將其數據傳送到PC上進行進一步的分析。
2.一種適用于光學投影曝光光刻機中檢測脈沖激光光場均勻性的方法，其特征在使用探針步進掃描法來控制紫外傳感器，并在獲得電流信號以后對其進行I/V轉換，前置放大，積分處理和AD轉換等處理，通過計數和同步控制邏輯對光場能量進行探測，并在通過單片機后將其數據傳送到PC上進行進一步的分析。
3.按照權利要求1所述的方法，其特征在于以N+1（1~1000）個脈沖時序為一個周期來對能量進行積分，第一個脈沖至第二個脈沖的時間為準備階段，第二個脈沖以后系統則進入以N個脈沖激光為周期的計數和能量積分階段，其中前（N-1）個脈沖時間是對能量進行積分；在最后一個脈沖時間內讓AD轉換芯片完成AD轉換、通過主控芯片實現對紫外傳感器的控制，并將系統清零，為下一周期的能量積分做準備。
4.按照權利要求1所述的方法，其特征在于使用硬件同步脈沖計數和同步控制邏輯來完成本發明的時序，并且使用核心芯片發出的探測開啟信號ST來對時序進行控制，同時在同步控制邏輯中使用了可控的時間延遲單元來進行一定量的延時。
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