[發明專利]測試系統及測試方法

有效

• 申請號: 201711440701.7
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN109975624B
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 孟憲偉;高亞峰;孫友權
• 申請（專利權）人: 無錫華潤華晶微電子有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00
• 代理公司: 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

本申請提供一種測試系統及測試方法。其中，所述測試系統具有至少兩個測試儀的測試裝置、分選機、及分別與所述至少兩個測試儀及分選機連接的控制裝置；其中，所述控制裝置提供用戶界面供用戶根據產品的測試項目編輯測試程序，所述測試項目包括多個測試參數，所述控制裝置將所述多個測試參數分配為至少兩個參數組，每一參數組由一個對應的測試儀來測試，所述分選機在控制裝置的控制下將所述產品移動至對應的測試儀處。本申請提供的上述測試系統，通過同一測試程序將產品測試項目的多個測試參數分配為至少兩個參數組，并通過至少兩個測試儀同時對產品進行測試，有利于節省了后續其他測試項目的等待時長，從而提高了整體的測試效率。

技術領域

本申請涉及一種半導體技術領域，尤其涉及測試系統及測試方法。

背景技術

在半導體產品(比如集成芯片)制備完成后，需要對產品進行功能測試，比如電性功能測試。電性功能測試主要為針對產品的各種電性參數進行測試，以確定產品能正常運作。產品的電性功能測試通常包含不同電性能項目(可簡稱為測試項目)的測試，而針對不同的測試項目，通常會結合分選機，依次進行測試。在對產品進行測試時，當一個測試項目完成之后，會進入下一測試項目的測試。而某些測試項目所需測試的測試參數較多，則會使得測試該測試項目所需的時長較大，可能是后續其他測試項目所需時長的兩倍或更多。

發明內容

本申請的一個方面提供一種測試系統，包括：具有至少兩個測試儀的測試裝置、分選機、及分別與所述至少兩個測試儀及分選機連接的控制裝置；其中，所述控制裝置提供用戶界面供用戶根據產品的測試項目編輯測試程序，所述測試項目包括多個測試參數，所述控制裝置將所述多個測試參數分配為至少兩個參數組，每一參數組由一個對應的測試儀來測試，所述分選機在控制裝置的控制下將所述產品移動至對應的測試儀處。

可選的，所述測試程序中，采用分隔符將所述多個測試參數分配為所述至少兩個參數組。

可選的，所述控制裝置將所述多個測試參數分配為第一參數組和第二參數組，所述測試裝置包括用于測試第一參數組的第一測試儀、及用于測試第二組參數的第二測試儀。

可選的，所述分選機包括驅動電機，用以驅動所述產品移動。

可選的，所述分選機還包括用以連接驅動電機與所述控制裝置的連接件，所述連接件包括用以傳輸產品移動信號的第一連接端，及用以傳輸測試信號的第二連接端；

其中，所述產品移動信號包括所述驅動電機的轉動信號。

可選的，所述控制裝置還用于接收所述分選機發送的產品移動信號或測試信號，并將所述產品移動信號或所述測試信號向對應的測試儀發送。

可選的，所述控制裝置還用于將所述產品移動信號與所述控制裝置中的產品移動參考信號匹配，并在匹配成功后向對應的測試儀發送所述產品移動信號；或，

將所述測試信號與所述控制裝置中的測試參考信號匹配，并在匹配成功后向對應的測試儀發送所述測試信號。

可選的，所述產品移動信號的持續時長大于1ms。

可選的，所述控制裝置包括存儲單元，在完成所述產品的所述至少兩個參數組的測試后，將所述至少兩個參數組的測試結果合并及儲存。

本申請的另一個方面提供一種測試方法，應用于上述測試系統，所述方法包括：

所述控制裝置提供用戶界面供用戶根據產品的測試項目編輯測試程序，并將所述測試項目的多個測試參數分配為至少兩個參數組；

所述至少兩個測試儀對應測試不同的參數組；

所述分選機在控制裝置的控制下將所述產品移動至對應的測試儀處；

所述對應的測試儀將所述至少兩個參數組的測試結果返給所述控制裝置；