[發(fā)明專利]一種高效穩(wěn)定的電弧等離子體源

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201711439940.0
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN107995767A
• 公開（公告）日: 2018-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫玄;易洪深;劉明
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
• 主分類號: H05H1/34
• 分類號: H05H1/34
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司11251
• 代理人: 楊學(xué)明,鄧治平

1.一種高效穩(wěn)定的電弧等離子體源，其特征在于：包括陽極、陽極銅環(huán)電極、內(nèi)部陶瓷筒、中間陶瓷筒、外部陶瓷筒、陰極、陰極銅環(huán)電極、鉬注氣管、陰極陶瓷蓋、引入電極中間絕緣、陶瓷墊圈、能量引入壓線銅鼻、陶瓷絕緣盒、陽極陶瓷蓋和鉬墊圈，陰極和陽極共軸裝配，陰極和陽極之間用陶瓷墊圈和鉬墊圈交替疊填充，內(nèi)部陶瓷筒套在墊圈外部，內(nèi)部陶瓷筒兩端分別嵌入陰極和陽極的凹槽內(nèi)，內(nèi)部陶瓷筒外再套上中間陶瓷筒，中間陶瓷筒的兩端與陰極和陽極的內(nèi)部端面相接，最后，開有裝配孔的外部陶瓷筒套在中間陶瓷筒外，兩端分別于陰極和陽極的外端面平齊，有裝配孔的陰極陶瓷蓋平鋪于陰極的外端面并與陰極共軸，有裝配孔的陽極陶瓷蓋平鋪于陽極外端面并與陽極共軸，調(diào)節(jié)陰極陶瓷蓋和陽極陶瓷蓋使它們的裝配孔與外部陶瓷筒的裝配孔共軸，使用絲桿來固定整個等離子體源。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：上述陽極銅環(huán)電極是一個內(nèi)徑70mm外徑90mm的銅環(huán)，圓環(huán)中心位置均勻的開十二個沉頭螺紋孔，環(huán)的外側(cè)有兩個對稱的電極臂。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：上述陽極由金屬鉬做成，是一個圓柱的U形結(jié)構(gòu)，外端面開有一個喇叭形出口，陽極外端面還開有一個內(nèi)徑70mm外徑90mm，厚度3mm的環(huán)形槽，槽中間圓環(huán)內(nèi)均勻的分布十二個螺紋孔，陽極銅環(huán)電極就裝配這個環(huán)形槽上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：上述陽極銅環(huán)電極是一個內(nèi)徑70mm外徑90mm的銅環(huán)，圓環(huán)中心位置均勻的開十二個沉頭螺紋孔，環(huán)的外側(cè)有一個電極臂。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：上述陰極有金屬鉬做成，其內(nèi)部圓柱開喇叭口，內(nèi)圓柱和外圓柱之間開有一個與內(nèi)部陶瓷筒壁厚一致的固定槽口，并且整個陰極中間開一個與陰極同軸的注氣孔，在陰極外端面還開有一個內(nèi)徑70mm外徑90mm，厚度3mm的環(huán)形槽，槽中間圓環(huán)內(nèi)均勻的分布十二個螺紋孔，陰極銅環(huán)電極就裝配這個環(huán)形槽上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：壓線銅鼻子是一端開有直徑8mm深15mm的孔，另外一端是一個M8的螺柱。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：陰極銅環(huán)電極和陽極銅環(huán)電極的電極臂都開有一個8mm通孔，壓線銅鼻子通過這個孔與銅環(huán)電極相連，把外部能量引入用于產(chǎn)生等離子體。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧等離子體源，其特征在于：上述鉬注氣管通過螺紋與陰極注氣孔相連，另外一側(cè)與外部的絕緣材質(zhì)的注氣管相連，并與注氣截止閥相連，以脈沖模式把工作質(zhì)氣體注入電離通道。