[發明專利]一種微波等離子體激發裝置

在審

• 申請號: 201711439606.5
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN107949145A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 范杰;黃翀
• 申請（專利權）人: 長沙新材料產業研究院有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司43113
• 代理人: 郭立中

1.一種微波等離子體激發裝置，包括磁控管（2）、轉換器（6）、微波窗口（14）和腔體（7），所述磁控管（2）的輸出端與轉換器（6）的輸入端通過第一微波傳輸機構（3）連通，所述轉換器（6）的輸出端通過第二微波傳輸機構（13）與微波窗口（14）對接，所述微波窗口（14）置于腔體（7）上，其特征在于，所述第二微波傳輸機構（13）的底側設有出風口（9）；還包括氣冷系統（1），氣冷系統（1）將氣體導向磁控管（2），所述氣體依次流過磁控管（2）、第一微波傳輸機構（3）、轉換器（6）和第二微波傳輸機構（13）、微波窗口（14）后從出風口（9）流出。

2.根據權利要求1所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述磁控管（2）的周圍設有第一冷卻液流道，所述第一冷卻液流道與冷卻液供應機構連通。

3.根據權利要求2所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述冷卻液體包括水、乙二醇型冷卻液、甘油型冷卻液、酒精型冷卻液中的一種或多種。

4.根據權利要求1所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述轉換器（6）周圍設有第三冷卻液流道，轉換器（6）上設有與第三冷卻液流道連通的第一進液口（4）和第一出液口（5）。

5.根據權利要求1所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述第二微波傳輸機構（13）主要由導熱材料制成。

6.根據權利要求1所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述出風口（9）的數量為多個，以第二微波傳輸機構（13）的中心軸線為中心呈輻射狀分布。

7.根據權利要求1所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述微波窗口周圍設有第二冷卻液流道，所述第二冷卻液流道的壁直接或間接與微波窗口接觸。

8.根據權利要求7所述的微波等離子體激發裝置，其特征在于，所述第二冷卻液流道設置于第二微波傳輸機構（13）側壁內，第二微波傳輸機構（13）上設有與第二冷卻液流道連通的第二進液口（8）和第二出液口（10）。