[發明專利]一種雙通道同時空域和時域偏振相移干涉的方法及系統

有效

• 申請號: 201711435300.2
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN108267082B
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發明（設計）人: 劉勝德;李嬌聲;鐘麗云;呂曉旭;章勤男
• 申請（專利權）人: 華南師范大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 廣州容大專利代理事務所(普通合伙) 44326
• 代理人: 劉新年

1.一種雙通道同時空域和時域偏振相移干涉方法，其特征在于，所述方法包括：

第一圖像傳感器在電子設備的控制下接收第一成像偏振光，并形成第一相移干涉圖，所述第一相移干涉圖的相移量為參考相移量；

第二圖像傳感器在所述電子設備的控制下接收第三成像偏振光，并形成第三相移干涉圖，所述第三相移干涉圖的相移量為空域相移量；

空間光調制器在所述電子設備的控制下進行光調制，得到時域相移量；

所述第一圖像傳感器在所述電子設備的控制下接收第二成像偏振光，并形成第二相移干涉圖，所述第二相移干涉圖的相移量為所述時域相移量；

所述第二圖像傳感器在所述電子設備的控制下接收第四成像偏振光，并形成第四相移干涉圖，所述第四相移干涉圖的相移量為綜合相移量，所述綜合相移量是通過所述空域相移量和所述時域相移量計算得到的；

所述電子設備獲取所述第一相移干涉圖、所述第二相移干涉圖、所述第三相移干涉圖、所述第四相移干涉圖、所述空域相移量以及所述時域相移量，并根據所述第一相移干涉圖、所述第二相移干涉圖、所述第三相移干涉圖、所述第四相移干涉圖、所述空域相移量以及所述時域相移量計算得到待測相位，所述待測相位為待測物品的相位；

所述方法還包括：

第一非偏振分光棱鏡接收第一激光正交偏振光，并反射所述激光正交偏振光；

所述空間光調制器接收所述第一非偏振分光棱鏡反射的所述第一激光正交偏振光，并反射所述第一激光正交偏振光；

所述第一非偏振分光棱鏡接收所述空間光調制器反射的所述第一激光正交偏振光，并透射所述第一激光正交偏振光；

偏振分光棱鏡接收所述第一非偏振分光棱鏡透射的所述第一激光正交偏振光，并反射所述第一激光正交偏振光包括的第一垂直偏振光，透射所述第一激光正交偏振光包括的第一水平偏振光；

第一平面反射鏡接收所述第一垂直偏振光，并反射所述第一垂直偏振光；

第二平面反射鏡接收所述第一水平偏振光，并反射所述第一水平偏振光；其中，所述第二平面反射鏡反射的所述第一水平偏振光為第一參考光波；

樣品臺接收所述第一平面反射鏡反射的所述第一垂直偏振光，輸出第一物光波；所述樣品臺上放置待測物品，所述第一物光波是所述第一垂直偏振光透射所述待測物品得到的；

第一顯微鏡接收所述樣品臺輸出的所述第一物光波，并輸出第一顯微物光波；

第二顯微鏡接收所述第二平面反射鏡反射的所述第一參考光波，并輸出第一顯微參考光波；

第二非偏振分光棱鏡接收所述第一顯微鏡輸出的所述第一顯微物光波和所述第二顯微鏡輸出的所述第一顯微參考光波，并輸出第一正交偏振光；所述第一正交偏振光包括所述第一顯微物光波和所述第一顯微參考光波；

四分之一波片接收所述第二非偏振分光棱鏡輸出的所述第一正交偏振光，并輸出第一圓偏振光；其中，所述第一圓偏振光包括第一相移顯微物光波和所述第一顯微參考光波；所述第一相移顯微物光波是由所述第一顯微物光波相移得到的，所述第一相移顯微物光波和所述第一顯微參考光波相差的相移量為空域相移量；

第三非偏振分光棱鏡接收所述四分之一波片輸出的所述第一圓偏振光，并反射所述第一圓偏振光，透射所述第一圓偏振光；

第一偏振片接收所述第三非偏振分光棱鏡反射的所述第一圓偏振光，并輸出第一成像偏振光，所述第一成像偏振光是所述第一顯微參考光波；

第二偏振片接收所述第三非偏振分光棱鏡透射的所述第一圓偏振光，并輸出第三成像偏振光，所述第三成像偏振光是所述第一相移顯微物光波；

所述第一圖像傳感器在電子設備的控制下接收第一成像偏振光，并形成第一相移干涉圖，所述第一相移干涉圖的相移量為參考相移量，包括：

第一圖像傳感器在電子設備的控制下接收所述第一偏振片輸出的所述第一成像偏振光，并形成第一相移干涉圖，所述第一相移干涉圖的相移量為參考相移量；

所述第二圖像傳感器在所述電子設備的控制下接收第三成像偏振光，并形成第三相移干涉圖，所述第三相移干涉圖的相移量為空域相移量，包括：

第二圖像傳感器在所述電子設備的控制下接收所述第二偏振片輸出的所述第三成像偏振光，并形成第三相移干涉圖，所述第三相移干涉圖的相移量為空域相移量。