[發明專利]調節裝置

有效

• 申請號: 201711434284.5
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN107885046B
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: 羅善高
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

本申請涉及液晶屏幕制造領域，一種調節裝置，用于轉動曝光機結象系單元上的旋鈕，以實現所述曝光機的照度調節。所述調節裝置包括鉸鏈、蝸輪、彈性件、電磁鐵和蝸桿。所蝸輪通過所述鉸鏈與所述旋鈕連接，所述蝸桿驅動所述蝸輪轉動，所述彈性件和所述電磁鐵用于實現所述蝸輪和所述蝸桿的嚙合或脫開。采用本申請的調節裝置，可以簡化曝光機照度的調節流程，提高精度。

技術領域

本申請涉及液晶屏幕制造領域，尤其涉及一種曝光機上的調節裝置。

背景技術

在液晶屏幕TFT－LCD的制造過程中，曝光機是完成光刻制程的重要設備。如果曝光機的光照不均勻，將會造成光刻圖案異常，甚至出現短路或斷路的現象，嚴重影響陣列基板的質量。為了確保曝光機中的光程一致性，保證UV照度的均勻性，需要將曝光機中的反光片通過結象系單元定義為弧形。結象系單元通過成排設置的旋鈕正轉或者反轉來推動反光片的前后位移，從而調整反光片的彎曲弧度，實現照度均勻。

通常，結象系單元位于曝光機內部，且沒有外部控制單元。因此，曝光機每次的照度調節都需要操作人員進入機臺內，采用手動方式進行。具體調節過程是：測試UV照度；根據測試結果旋轉UV照度不符合要求的區域對應的旋鈕；旋鈕推動反光片位移以調整彎曲弧度；重新測試UV照度。由于手動調節不可控，難以達到調節精度，因而每次調節往往需要反復進行上述操作過程才能達到較好的照度效果。曝光機內部對溫控以及潔凈度的要求非常高，人員經常進入易將外界粉塵帶進曝光機內部而污染曝光腔室，或破壞曝光機內恒溫、恒濕及潔凈的工作環境，導致光學元件的污染，影響產品質量，縮短曝光機的使用壽命，造成嚴重的經濟損失。另一方面，人員在曝光機中的反復進出，也會帶來安全隱患。

發明內容

本申請的目的在于提供一種曝光機照度調節裝置，簡化調節過程，提高調節精度。本申請調節裝置包括如下技術方案：

一種調節裝置，用于轉動曝光機結象系單元上的旋鈕，以實現所述曝光機的照度調節，所述調節裝置包括鉸鏈、蝸輪、彈性件、電磁鐵和蝸桿；所蝸輪設有轉軸，所述轉軸通過所述鉸鏈與所述旋鈕連接；所述彈性件連接于所述曝光機和所述蝸輪之間，所述電磁鐵固設在所述曝光機上，所述電磁鐵相對于所述彈性件設置于所述蝸輪的另一側，所述電磁鐵與所述蝸輪間隙設置；所述蝸桿轉動設置于所述曝光機上，所述蝸桿相對于所述彈性件，也設置于所述蝸輪的另一側；當所述電磁鐵未通電時，所述彈性件牽扯所述蝸輪使其與所述蝸桿脫開；當所述電磁鐵通電時，所述電磁鐵吸附所述蝸輪以拉伸所述彈性件，所述蝸輪與所述蝸桿接觸，轉動所述蝸桿與所述蝸輪與嚙合，從而實現所述旋鈕的轉動。

其中，所述調節裝置還包括電機，所述電機用于驅動所述蝸桿的轉動。

其中，多個所述旋鈕在所述曝光機上成單排排列，所述調節裝置的數量與所述旋鈕的數量相同，排列方式亦相同。

其中，所述蝸輪的軸線與所述蝸桿的軸線相互垂直，多個所述蝸桿沿所述旋鈕的排列方向同軸設置，多個所述蝸桿依次固連，多個所述調節裝置共用一個所述電機，所述電機驅動依次固連的所述蝸桿同步轉動。

其中，所述蝸桿為一個，沿所述旋鈕的排列方向延伸，一個所述蝸桿與多個所述蝸輪嚙合。

其中，所述調節裝置還包括控制單元，所述控制單元用于同時控制每一個所述電磁鐵的吸附。

其中，所述鉸鏈為萬向鉸鏈。

其中，所述調節裝置設有限位柱，所述限位柱位于所述轉軸的兩側，所述限位柱與所述曝光機固連，所述限位柱用于限制所述蝸輪沿所述旋鈕的排列方向上的擺動。

其中，所述彈性件為彈簧，所述彈簧設有限位件，所述限位件用于限制所述蝸輪沿所述旋鈕的排列方向上的擺動。

其中，所述蝸輪和/或所述蝸桿的齒頂部位設置倒角，所述倒角用于導引所述蝸輪與所述蝸桿的嚙合。