[發明專利]結晶硅制造設備用的搬運設備

在審

• 申請號: 201711434269.0
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN109956280A
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 柯盧明
• 申請（專利權）人: 廣州市創機自動化科技有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G43/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種結晶硅制造設備用的搬運設備，以減輕多結晶硅體至縱斷加工為止的作業員的負擔。一種結晶硅制造設備用的搬運設備，位于直線狀的移動路徑L的一側部分L1的一側空間Z1，以及位于另一側部分L2的另一側空間Z2，由形成有通過用開口4讓搬運車1由通過的分隔壁3分隔且互相鄰接般配置，鑄造多結晶硅體的多個多結晶爐R沿著一側部分L1被設置，將多結晶爐R所鑄造的多結晶硅體進行縱斷加工的多個加工機K沿著另一側部分L2被設置，自由搬運多結晶硅體的搬運車1通過分隔壁3搬運多結晶硅體般被構成。

本發明涉及一種硅結晶體制造設備用的搬運設備，設置有搬運車沿著被設定為經過制造硅結晶體的多個硅結晶爐的狀態下的移動路徑上自由移動且自由搬運前述結晶爐所制造的結晶硅體。

以過往的前述結晶硅制造設備用的搬運設備為例，設置有作為結晶爐的單結晶硅體制造裝置(以下簡稱單結晶爐)，設置有搬運車沿著在被設定經過多個單結晶爐的狀態下的直線狀移動路徑上自由移動且自由搬運單結晶爐所制造的單結晶硅體(例如請參照專利文獻1)。

單結晶爐為一種將硅石中取得的金屬硅精制、析出后將多結晶硅溶融于例如備有可自由拆卸的石英制坩堝，通過于坩堝將晶種浸于溶融的硅中并慢慢拉起，使與此晶種具同樣方向配列的單結晶被成長，最后成為大圓柱狀的鑄塊的加工裝置。

上述專利文件1的搬運裝置是，于移動路徑上行走移動，將被投入單結晶硅的原料的坩堝從設定于與移動路徑的端部對應的位置的坩堝搬入區塊搬運至單結晶爐，并將鑄塊從單結晶爐搬運至設定于與移動路徑的端部對應的位置的鑄塊搬出區塊。

因此，搬運坩堝至單結晶爐的作業或是從單結晶爐搬運鑄塊的作業皆可排除作業員，達到于硅結晶制造設備中減輕作業員的勞力。

專利文獻1：日本特開2010-132508號公報

【發明要解決的課題】

但以往的硅結晶制造設備用的搬運設備是，如上述般，將單結晶爐所制造的鑄塊由搬運車進行搬運，可減輕作業員從單結晶爐搬運鑄塊的勞力，搬運車搬運至搬出區塊的鑄塊，由作業員換乘至別的臺車后，為了加工成基板狀而由人為作業搬運至切削加工機或是通過利用其它搬運單元搬運至切削加工機。

順帶一提，在制造太陽能電池用的半導體基板的情形，經常使用多結晶硅體作為硅結晶體。

多結晶硅體是，于多結晶爐使用可自由卸載的量杯狀例如石墨制的坩堝，鑄造成扁平長方體形狀，之后，通過加工機縱斷成角柱狀，之后，將角柱狀的多結晶硅體進行切削加工。因此，與圓柱狀的單結晶硅體不一樣，在使用多結晶硅體的情形，切削成基板狀前，必須通過加工機進行角加工的步驟將扁平長方體縱斷加工成角柱狀。

然而，將以往的硅結晶制造設備用的搬運設備用于多結晶硅體的制造設備的話，搬運車只有搬運多結晶爐所鑄造的多結晶硅體，之后為了角加工送至加工機需要由人為作業來搬運，或是由其它的搬運單元進行搬運。

因此，對多結晶硅體來說，角加工的步驟為必要的部分，對于以往的硅結晶制造設備用的搬運設備，到多結晶硅體被供給至切削加工機為止，多結晶硅體會發生多次的換乘作業，給予作業員較大的負擔。

再且，單結晶爐與多結晶爐是，為了于接近攝氏1000度的高溫下將多結晶硅溶融，單結晶爐或多結晶爐被設置的空間會成為高溫環境，將多結晶硅縱斷加工成角柱狀的步驟中，由于冷卻切斷時所產生的熱的切削油形成油霧擴散于大氣環境中，以往，為了避免設置多結晶爐的空間與設置加工機的空間相互受到環境的影響設置有分隔壁將其區隔。為此，為了從一側空間移動至另一側空間，必須使連通兩空間的聯絡口開通，不能自由移動于兩空間之間。因此，在從設置多結晶爐的空間至設置加工機的空間中進行搬運多結晶體硅的作業會有許多問題。

本發明有鑒于上述的實際情況，目的在于提供一種硅結晶制造設備用的搬運設備，能夠減輕作業員至多結晶硅體進行縱斷加工為止的作業負擔。

【用以解決課題的手段】