[發明專利]一種復合式磁控濺射陰極

有效

• 申請號: 201711432650.3
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN108149209B
• 公開（公告）日: 2019-12-20
• 發明（設計）人: 邱清泉;汪天龍;屈飛;靖立偉;張國民;肖立業
• 申請（專利權）人: 中國科學院電工研究所
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;H01J37/34
• 代理公司: 11251 北京科迪生專利代理有限責任公司
• 代理人: 關玲

1.一種復合式磁控濺射陰極，其特征在于：所述的磁控濺射陰極包括平面靶材(1)、水冷背板(2)、外永磁體(3、4)、內永磁體(5)、內電磁線圈(6、7)、外電磁線圈(8、9)、外磁軛(10、11)、內磁軛(12)、中磁軛(13、14)、底磁軛(15)，以及框架(16)構成；水冷背板(2)安裝在平面靶材(1)的下方；外永磁體(3、4)安裝在水冷背板(2)下方；外磁軛(10、11)安裝在外永磁體(3、4)的下方；底磁軛(15)安裝在外磁軛(10、11)的下方；內磁軛(12)安裝在底磁軛(15)中間位置的上方；內永磁體(5)安裝在內磁軛(12)的上方；中磁軛(13、14)安裝在內磁軛(12)和外磁軛(10、11)之間；所述的外電磁線圈(8、9)安裝在中磁軛(13、14)和外磁軛(10、11)之間；所述的內電磁線圈(6、7)安裝在內磁軛(12)和中磁軛(13、14)之間；所述的外磁軛、中磁軛、內磁軛、底磁軛、外永磁體、內永磁體、外電磁線圈、內電磁線圈安裝在框架(16)中；所述的平面靶材(1)通過電源線連接到陰極電源；所述的平面靶材(1)為金屬或合金或陶瓷靶材；所述的外磁軛(10、11)、內磁軛(12)和底磁軛(15)采用鐵磁性材料制作；所述的中磁軛(13、14)為完整的鐵磁環，或者采用部分鐵磁環與無磁不銹鋼環復合的方式；所述的外永磁體(3、4)和內永磁體(5)的安裝極性相反；通過控制內電磁線圈和外電磁線圈電流的大小和方向，可以實現陰極靶材表面磁場強度和非平衡度的變化，從而調節濺射速率、增加靶材利用率。

2.如權利要求1所述的復合式磁控濺射陰極，其特征在于：所述的水冷背板(2)和框架(16)為非導磁材料制作；水冷背板(2)的上表面開有溝槽，溝槽內盛有冷卻水。

3.如權利要求1所述的復合式磁控濺射陰極，其特征在于：所述的內電磁線圈(6、7)為一閉合線圈，采用跑道形或圓形結構；外電磁線圈(8、9)為一閉合線圈，采用跑道形或圓形結構；外電磁線圈和內電磁線圈通過引線分別連接線圈供電電源。

4.如權利要求3所述的復合式磁控濺射陰極，其特征在于：所述的線圈供電電源為手動或自動控制的直流電源。