[發明專利]激光拼接圖案結構及其蝕刻布線方法

有效

• 申請號: 201711429710.6
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN108108052B
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 李文;李兆勇;任小勇
• 申請（專利權）人: 張家港康得新光電材料有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 范晴;顧天樂

1.一種激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，在拼接處，對延長線重合的第一蝕刻線與第二蝕刻線采用直角彎折結構連接；

直角彎折結構包括數個由水平蝕刻線與豎直蝕刻線構成的直角拐角，直角彎折結構中水平蝕刻線與豎直蝕刻線順次相連、連續走線；

第一蝕刻線、第二蝕刻線以及直角彎折結構通過開啟一次激光進行蝕刻形成；

所述直角彎折結構設置于一平面圖形中，所述的平面圖形包括兩組對角；ITO圖案單元的一根水平軸線平分所述平面圖形的一組對角，且該平面圖形的另一組對角關于所述水平軸線對稱。

2.根據權利要求1所述的激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，所述的直角彎折結構包括數個由水平蝕刻線與豎直蝕刻線構成的直角拐角，所述直角彎折結構中水平蝕刻線與豎直蝕刻線順次相連、連續走線。

3.根據權利要求2所述的激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，所述的直角彎折結構包括一個直角拐角，構成直角拐角的豎直蝕刻線與第一蝕刻線相連，構成直角拐角的水平蝕刻線與第一蝕刻線相連。

4.根據權利要求3所述激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，所述直角彎折結構中水平蝕刻線與豎直蝕刻線的長度b相等，b不小于0.2毫米且不大于0.5a毫米，a為平面圖形中較長的對角線的長度。

5.根據權利要求3所述激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，所述平面圖形中對稱設有2個或4個直角彎折結構。

6.根據權利要求3所述激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，所述平面圖形的數量不少于2個。

7.根據權利要求1所述激光拼接圖案結構的蝕刻布線方法，其特征是，所述激光拼接圖案結構包括若干按順序排列連接的ITO圖案單元，一次激光開啟的蝕刻進程內，激光走線沿鈍角或直角進行。