[發明專利]一種連桿微動平臺

在審

• 申請號: 201711428657.8
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN107910037A
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發明（設計）人: 鐘博文;孫立寧;王振華
• 申請（專利權）人: 蘇州邁客榮自動化技術有限公司
• 主分類號: G12B9/10
• 分類號: G12B9/10
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 耿丹丹,李廣

技術領域

本申請涉及一種連桿微動平臺。

背景技術

具有高精度和快速響應的微動工作臺在現代制造技術中具有極其重要的地位，被視為一個國家高技術發展水平的重要標志。在超精密機床中，超精密微動工作臺用于對進給系統進行誤差補償，實現超精密加工；在大規模集成電路制造中，超精密微動工作臺用于光刻設備中進行微定位和微進給；在掃描探針顯微鏡中，超精密微動工作臺用于測量樣品表面形貌，進行納米加工；在生物工程方面，超精密微動工作臺用于完成對細胞的操作，實現生物操作工程化；在醫療科學方面，超精密微動工作臺用于顯微外科手術，以便減輕醫生負擔，縮短手術時間，提高成功率。超精密微動工作臺還被廣泛應用于光纖對接，MEMS系統加工、封裝及裝配，以及電化學加工等領域中。目前，市場上的微動工作臺多為x、y軸的水平調平，不具有調轉角度的功能，不足以滿足實際工作需要。

申請內容

本申請要解決的技術問題是提供一種連桿微動平臺。

為了解決上述技術問題，本申請提供了一種連桿微動平臺，所述的微動平臺包括一安裝平臺、通過螺紋可旋轉的連接于所述的安裝平臺上的微動上升柱，所述的微動上升柱上設置有一擺桿，所述的安裝平臺上設置有一環形滑軌，所述的擺桿上設置有一滑塊，所述的滑塊可滑動的設于所述的環形滑軌內，所述的微動平臺還包括一端部與所述的擺桿通過第一轉軸相轉動連接的第一連桿、與所述的第一連桿通過第二轉軸相轉動連接的第二連桿、與所述的第二連桿通過第三轉軸相轉動連接的第三連桿、用于推動所述的第三連桿的汽缸組件。

優選地，所述的微動平臺還包括一底座，所述的安裝平臺設置在所述的底座上。

優選地，所述的汽缸組件包括汽缸、被所述的汽缸驅動的活塞桿，所述的活塞桿上設置有一用于推動所述的第三連桿沿X軸方向運動的推動頭。

優選地，所述的擺桿與所述的第一連桿大致垂直，所述的第一連桿和第二連桿大致垂直、所述的第二連桿與所述的第三連桿大致垂直。

優選地，所述的第二連桿與所述的底座之間通過一轉動軸相轉動連接。

優選地，所述的轉動軸至第三轉軸之間的距離大于所述的轉動軸至第二轉軸之間的距離。

優選地，所述的汽缸安裝在所述的底座上。

優選地，所述的安裝平臺上設置有一螺紋柱，所述的微動上升柱與所述的螺紋柱通過螺紋連接，所述的螺紋柱與所述的環形滑軌同圓心設置。

本申請的一種連桿微動平臺，通過一汽缸推動連桿，通過多個連桿的力傳遞，使擺桿擺動，擺桿帶動微動上升柱旋轉，達到微動上升柱的精密微調，該平臺結構簡單，對微動上升柱的高度的調節非常精密。

附圖說明

圖1是一種連桿微動平臺的結構示意圖，

其中：1、微動上升柱；2、安裝平臺；3、底座；11、擺桿；21、滑軌；41、汽缸；42、活塞桿；43、推動頭；51、第一連桿；52、第二連桿；53、第三連桿；6、轉動軸；71、第一轉軸；72、第二轉軸；73、第三轉軸。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本申請作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好地理解本申請并能予以實施，但所舉實施例不作為對本申請的限定。

如圖所示，本申請提供了一種連桿微動平臺，所述的微動平臺包括一安裝平臺2、通過螺紋可旋轉的連接于所述的安裝平臺2上的微動上升柱1，所述的微動上升柱1上設置有一擺桿11，所述的安裝平臺2上設置有一環形滑軌21，所述的擺桿11上設置有一滑塊，所述的滑塊可滑動的設于所述的環形滑軌21內，所述的微動平臺還包括一端部與所述的擺桿11通過第一轉軸71相轉動連接的第一連桿51、與所述的第一連桿51通過第二轉軸72相轉動連接的第二連桿52、與所述的第二連桿52通過第三轉軸73相轉動連接的第三連桿53、用于推動所述的第三連桿53的汽缸組件。所述的微動平臺還包括一底座3，所述的安裝平臺2設置在所述的底座3上。所述的汽缸組件包括汽缸41、被所述的汽缸41驅動的活塞桿42，所述的活塞桿42上設置有一用于推動所述的第三連桿53沿X軸方向運動的推動頭43。所述的擺桿11與所述的第一連桿51大致垂直，所述的第一連桿51和第二連桿52大致垂直、所述的第二連桿52與所述的第三連桿53大致垂直。所述的第二連桿52與所述的底座3之間通過一轉動軸6相轉動連接。所述的轉動軸6至第三轉軸73之間的距離大于所述的轉動軸6至第二轉軸72之間的距離。所述的汽缸41安裝在所述的底座3上。所述的安裝平臺2上設置有一螺紋柱，所述的微動上升柱1與所述的螺紋柱通過螺紋連接，所述的螺紋柱與所述的環形滑軌21同圓心設置。