[發明專利]一種敞口石英安瓿的排氣封接裝置及方法

有效

• 申請號: 201711428605.0
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN108203846B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 徐強強;吳卿;范葉霞;侯曉敏
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十一研究所
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B29/48
• 代理公司: 工業和信息化部電子專利中心 11010
• 代理人: 張曦

1.一種敞口石英安瓿的排氣封接裝置，其特征在于，包括設置在底板上的排氣封接臺和加熱爐；

所述排氣封接臺包括多個金屬壓環及多個密封圈；

所述金屬壓環與所述密封圈交錯設置在排氣口處構成排氣密封結構；

所述石英安瓿的敞口端通過所述排氣密封結構密封固定在所述排氣封接臺上；

所述加熱爐包括上、下兩個可開合的半圓柱加熱爐體，用于對所述石英安瓿內的多晶料進行加熱；

所述排氣封接臺還包括壓緊套及水冷頭，所述壓緊套將所述水冷頭固定在所述排氣密封結構外側，并將所述金屬壓環和密封圈向內壓緊密封。

2.如權利要求1所述的敞口石英安瓿的排氣封接裝置，其特征在于，所述石英安瓿與所述金屬壓環的接觸位置設置有絕熱擋板。

3.如權利要求1所述的敞口石英安瓿的排氣封接裝置，其特征在于，所述加熱爐還包括設置在爐口位置的絕熱保溫環。

4.如權利要求1所述的敞口石英安瓿的排氣封接裝置，其特征在于，所述石英安瓿內的石英塞子與所述密封圈之間設置有輻射擋板。

5.如權利要求4所述的敞口石英安瓿的排氣封接裝置，其特征在于，

在所述石英安瓿的內表面及所述石英塞子的外表面鍍碳膜；并將所述石英安瓿的內表面和所述石英塞子的外表面接觸區域設置成無碳膜接觸區域。

6.如權利要求1所述的敞口石英安瓿的排氣封接裝置，其特征在于，

所述加熱爐的下加熱爐體內設置有支撐絕熱塊，用于在加熱過程中支撐所述石英安瓿；

所述底板上設置有高度及位置均可調節的支撐桿，用于在加熱前后支撐所述石英安瓿。

7.一種利用如權利要求1至6任意一項所述的排氣封接裝置對所述敞口石英安瓿排氣封接的方法，其特征在于，包括：

將裝有多晶料的石英安瓿的敞口端通過所述排氣密封結構密封固定在所述排氣封接臺上；

排氣過程中，將加熱爐沿所述石英安瓿的排氣方向推向所述石英安瓿，直至所述石英安瓿位于所述加熱爐內，以加熱所述石英安瓿內的多晶料；

對所述石英安瓿及其內部的石英塞子進行軟化燒接。

8.如權利要求7所述的敞口石英安瓿排氣封接的方法，其特征在于，所述對所述石英安瓿及其內部的石英塞子進行軟化燒接前，對所述排氣密封結構進行阻熱處理，包括：

開啟所述水冷頭，對所述密封圈降溫；

在所述石英安瓿內的石英塞子與所述密封圈之間設置輻射擋板；

在所述石英安瓿與所述金屬壓環的接觸位置設置絕熱擋板。

9.如權利要求7所述的敞口石英安瓿的排氣封接方法，其特征在于，所述對所述石英安瓿及其內部的石英塞子進行軟化燒接，包括：

將所述石英安瓿的內表面及所述石英塞子的外表面鍍碳膜；

燒除所述石英安瓿的內表面和所述石英塞子的外表面接觸區域的碳膜，獲得石英安瓿和石英塞子的無碳膜接觸區域；

對所述無碳膜接觸區域加熱軟化實現封接。