[發明專利]一種雙等離子體離子源

在審

• 申請號: 201711427448.1
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN108112153A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 王俊潤;姚澤恩;張宇;韋崢;盧小龍;黃智武;馬占文;徐大鵬;祝嬌;李清華
• 申請（專利權）人: 蘭州大學;中國船舶重工集團公司第七一九研究所
• 主分類號: H05H1/28
• 分類號: H05H1/28;H05H1/30;H05H3/06
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種雙等離子體離子源，其特征在于：包括陽極外殼，陽極外殼和中間電極采用軟鐵材料，中間電極設有冷卻槽，中間電極和陽極外殼之間設有勵磁線包，放電室內設有陰極燈絲，陰極燈絲置于燈絲罩內，燈絲罩安裝在燈絲架上，燈絲架和燈絲接線柱通過陶瓷管固定在中間電極法蘭上，中間電極法蘭安裝在中間電極的一端，中間電極的冷卻槽連通中間電極冷卻管道入口，中間電極法蘭上設有進氣管道連通放電室，放電室另一端為錐形出口，錐形出口連接陽極嵌塊，陽極嵌塊連接擴張杯，陽極法蘭上設有陽極法蘭冷卻管道入口和陽極法蘭冷卻管道出口，陽極法蘭底部設有陽極引出法蘭。

2.按照權利要求1所述一種雙等離子體離子源，其特征在于：所述中間電極法蘭和中間電極的接觸角設有真空封裝O型密封圈。

3.按照權利要求1所述一種雙等離子體離子源，其特征在于：所述放電室錐形出口上下端的半徑分別為46mm和6mm；所述陽極嵌塊采用金屬鉬材料，陽極嵌塊的引出孔直徑1mm；所述擴張杯直徑為19mm，長度為16mm。

4.按照權利要求1所述一種雙等離子體離子源，其特征在于：所述勵磁線包安裝在銅線包骨架法蘭上，所述陽極外殼安裝在陽極法蘭上，中間電極、勵磁線包、陽極嵌塊、擴張杯和銅線包骨架法蘭與陽極法蘭之間均設有絕緣法蘭。

5.按照權利要求1所述一種雙等離子體離子源，其特征在于：所述燈絲架、燈絲罩均由金屬鉬加工而成，所述陰極燈絲與燈絲罩之間的絕緣均為陶瓷柱，所述陽極外殼、陽極法蘭、中間電極由純鐵加工而成，所述銅線包骨架法蘭由磁性不銹鋼或銅加工而成。

6.按照權利要求1所述一種雙等離子體離子源，其特征在于：所述陰極燈絲加-500V電壓，中間電極為-200V電壓，中間電極和陽極法蘭內部均刻有冷卻槽，外部對應兩組冷卻進出口。