[發(fā)明專利]一種預(yù)防單晶掉落的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711426647.0 | 申請日: | 2017-12-25 |
| 公開(公告)號: | CN109957833B | 公開(公告)日: | 2020-10-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 王雅楠;劉卓;韓秋雨;姜艦;翟順元;張金義 | 申請(專利權(quán))人: | 有研半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100 | 代理人: | 劉秀青 |
| 地址: | 101300 北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 預(yù)防 掉落 裝置 | ||
1.一種預(yù)防單晶掉落的裝置,其特征在于,包括單晶爐拉伸筒、下法蘭、金屬彎頭、連接桿及底托,下法蘭安裝在單晶爐拉伸筒的下端,下法蘭上設(shè)有金屬柱,金屬彎頭上設(shè)有供該金屬柱穿過的孔,金屬彎頭的下端與連接桿一端相連,連接桿的另一端連接底托;所述連接桿為沿長度方向具有縫隙的長條形連接桿,連接桿的數(shù)量為三根;若一旦發(fā)生單晶脫落的情況,用帆布帶穿過連接桿上的縫隙,自然將晶體環(huán)繞一周,起到保護單晶的作用。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置,其特征在于,所述底托的中心位置具有孔,并具有從該孔向外延伸的三根桿,該三根桿對稱分布,在每根桿的端部均設(shè)有連接孔。
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