[發明專利]源于拋光的石英晶片表面淺劃痕的視覺檢測方法

在審

• 申請號: 201711426476.1
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN107945180A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 林晨寬;陳浙泊;余建安
• 申請（專利權）人: 浙江大學臺州研究院
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/136;G06T7/181
• 代理公司: 臺州市南方商標專利事務所(普通合伙)33225
• 代理人: 劉洪雨,楊秀偉

1.源于拋光的石英晶片表面淺劃痕的視覺檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）將石英晶片置于玻璃盤上；

（2）采用上、下兩個工業相機，分別聚焦于石英晶片的上、下表面；

（3）將八個0角度光源以石英晶片為圓心均勻有序地布置在石英晶片周圍；

（4）控制八個0角度光源逐個依次點亮，在每點亮一個0角度光源的同時，觸發上、下兩個工業相機同時采集一幀圖像，使得上、下兩個工業相機各采集八幀圖像；

（5）通過圖像處理算法對十六幀圖像分別進行處理，圖像處理結果中，如有一幀圖像上檢測出劃痕，則判斷石英晶片上存在劃痕；否則，則判斷石英晶片上不存在劃痕。

2.根據權利要求1所述的源于拋光的石英晶片表面淺劃痕的視覺檢測方法，其特征在于，步驟（3）中所述0角度光源為條形光源。

3.根據權利要求2所述的源于拋光的石英晶片表面淺劃痕的視覺檢測方法，其特征在于，步驟（4）中所述工業相機對石英晶片的上、下表面分別采集八幀不同圖像，八幀圖像的采集時刻分別與所述八個角度條形光源的點亮時刻一一對應，同一時刻只有一個角度的條形光源點亮，當該條形光源點亮的同時，上方工業相機采集一幀石英晶片上表面的圖像，下方工業相機采集一幀石英晶片下表面的圖像。

4.據權利要求3所述的源于拋光的石英晶片表面淺劃痕的視覺檢測方法，其特征在于，步驟（5）中所述圖像處理算法的處理過程如下：

a.將圖像轉換成灰度；

b.通過灰度閾值和輪廓信息查找石英晶片在圖像上的位置并篩選劃痕檢測區域；

c.將檢測區域的圖像二值化；

d.通過中值濾波濾掉灰塵引起的圖像干擾；

e.使用線條提取圖像算法檢測圖像中的線條及其寬度；

f.通過線條之間的斜率、位置、寬度關系連接共線的線條；

g.通過線條的寬度和長度篩選劃痕線條。

5.據權利要求4所述的源于拋光的石英晶片表面淺劃痕的視覺檢測方法，其特征在于，處理過程f中所述通過斜率、位置、寬度關系連接共線的線條是為杜絕由多條斷斷續續的短劃痕形成的長劃痕被漏檢。