[發明專利]一種基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器

在審

• 申請號: 201711425764.5
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN108318535A
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 韋德永
• 申請（專利權）人: 韋德永
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器，該濕敏傳感器為電阻式，包括硅片襯底，在硅片襯底上設有WO₃薄膜，WO₃薄膜之上設有插指電極，并且在WO₃薄膜之上、插指電極四周設有ZrO₂薄膜，在插指電極和ZrO₂薄膜之上設有CeO₂薄膜，即，在WO₃薄膜和CeO₂薄膜之間設有插指電極和ZrO₂薄膜；這樣使得該插指電極能夠同時接觸WO₃薄膜、CeO₂薄膜和ZrO₂薄膜。

技術領域

本發明涉及濕敏傳感器技術領域，尤其涉及一種基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器。

背景技術

濕度是一個重要的環境因素。比如，人一般在45～55％的相對濕度下感覺最舒適，濕度過高或過低都會引起人的不適感；在儲藏領域，保障貨物在相對合適的濕度下存放，有助于防止食物腐爛及金屬材料生銹和化學藥品的變質；在電子工業生產領域，濕度的合理控制決定了電子產品的高質量。對濕度的檢測和控制直接關系到經濟的發展和生活的舒適度。

濕度傳感器是檢測濕度的常用工具，其是常用的傳感器之一，被廣泛用于工農業生產、日常生活、氣象、環保、航天等領域，但目前大部分商用濕度傳感器存在著響應恢復速度較慢、穩定性較差等缺點。

發明內容

基于上述技術問題，為了改善濕敏傳感器的響應恢復速度及提高長時間工作的穩定性，本發明旨在提供一種基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器，以解決上述提出問題。

本發明的實施例中提供了一種基于氧化鋯復合材料的濕敏傳感器，該濕敏傳感器為電阻式，包括硅片襯底，在硅片襯底上設有WO₃薄膜，WO₃薄膜之上設有插指電極，并且在WO₃薄膜之上、插指電極四周設有ZrO₂薄膜，在插指電極和ZrO₂薄膜之上設有CeO₂薄膜，即，在WO₃薄膜和CeO₂薄膜之間設有插指電極和ZrO₂薄膜；這樣使得該插指電極能夠同時接觸WO₃薄膜、CeO₂薄膜和ZrO₂薄膜。

本發明的實施例提供的技術方案可以包括以下有益效果：

本發明的濕敏傳感器創造性的在插指電極四周設有ZrO₂薄膜，然后在插指電極和ZrO₂薄膜上、下設有CeO₂薄膜和WO₃薄膜，然后經過燒結，上述各物質能夠同時作用于插指電極并反饋濕度信息，取得了意料不到的技術效果，使得該濕敏傳感器的響應恢復速度大大提高，并提高了重復使用的穩定性。

本發明附加的方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發明的實踐了解到。應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本發明。

附圖說明

利用附圖對本發明作進一步說明，但附圖中的實施例不構成對本發明的任何限制，對于本領域的普通技術人員，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據以下附圖獲得其它的附圖。

圖1是本發明實施例濕敏傳感器的結構示意圖。

具體實施方式

這里將詳細地對示例性實施例進行說明，其示例表示在附圖中。下面的描述涉及附圖時，除非另有表示，不同附圖中的相同數字表示相同或相似的要素。以下示例性實施例中所描述的實施方式并不代表與本發明相一致的所有實施方式。相反，它們僅是與如所附權利要求書中所詳述的、本發明的一些方面相一致的裝置和方法的例子。