[發明專利]一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器有效
| 申請號： | 201711421042.2 | 申請日： | 2017-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN108173451B | 公開（公告）日： | 2019-08-06 |
| 發明（設計）人： | 胡院林;王文 | 申請（專利權）人： | 上海交通大學 |
| 主分類號： | H02N2/00 | 分類號： | H02N2/00;F04B43/04;H01L41/047;H01L41/09 |
| 代理公司： | 上海旭誠知識產權代理有限公司 31220 | 代理人： | 鄭立 |
| 地址： | 200240 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 驅動力 壓電驅動器 柔性薄膜 驅動器 靜電驅動 壓電 不可壓縮流體 靜電驅動器 固定壁面 傳動 振膜 薄膜 復合驅動結構 驅動電壓信號 復合 靜電力驅動 驅動力傳遞 驅動部件 壓電薄膜 靜電 底座 交變 貼合 放大 傳遞 響應 | ||
1.一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，包括薄膜壓電驅動器、靜電驅動器、不可壓縮流體、底座、基體、固定壁面，其中：
所述靜電驅動器包括柔性薄膜、固定壁面、固定壁面介電層；
所述柔性薄膜上設有薄膜表面電極，所述柔性薄膜的彈性模量＜3GPa，所述柔性薄膜的厚度＜1mm；
所述固定壁面上設有進口孔和出口孔；
所述薄膜壓電驅動器包括：彈性基片、壓電陶瓷片和壓電陶瓷片表面電極；
所述薄膜壓電驅動器和所述靜電驅動器通過同步的驅動電壓信號驅動；
所述薄膜壓電驅動器與不可壓縮流體的接觸面積大于所述柔性薄膜與所述不可壓縮流體的接觸面積。
2.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，在所述薄膜壓電驅動器中分別在壓電陶瓷片表面電極層和所述基體中焊接導線，用以接收驅動電壓信號。
3.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述柔性薄膜表面的所述薄膜表面電極和所述固定壁面介電層之間施加同步的交變電壓驅動信號。
4.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述薄膜表面電極以及引線的制作工藝包括：薄膜的清洗，光刻膠固定，薄膜表面濺射電極種子層，濺射金屬電極層，電鍍金屬防護層，刻蝕去除非電極區域的金屬層。
5.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述基體采用硬質絕緣材料，所述硬質絕緣材料包括聚醚醚酮和有機玻璃。
6.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述固定壁面采用導電材料，所述導電材料為硅或金屬材料。
7.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述固定壁面介電層厚度低于1μm。
8.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述柔性薄膜為彈性金屬膜、聚酰亞胺薄膜或PDMS薄膜。
9.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于：復合驅動振膜驅動器的結構是單側或雙側驅動結構。
10.根據權利要求1所述的一種含有液體傳動的復合壓電和靜電驅動振膜驅動器，其特征在于，所述不可壓縮流體為可傳遞壓力的液體，所述可傳遞壓力的液體包括液壓油。
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