[發明專利]驅動物體運動的方法

在審

• 申請號: 201711416124.8
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN108155829A
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 趙立新
• 申請（專利權）人: 格科微電子（上海）有限公司
• 主分類號: H02N1/00
• 分類號: H02N1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供一種驅動物體運動的方法，提供至少一個彈性結構、定子、動子；所述彈性結構部分固定于定子上，所述定子、動子均能向所述彈性結構提供靜電力；施加靜電力于彈性結構上，在一定時間內，靜電力向所述彈性結構做功，所述彈性結構積累機械能；通過控制定子、動子向該彈性結構施加的靜電力的大小、方向、時間，彈性結構的部分機械能轉換為驅動動子向指定方向運動的能量；同時，動子的部分靜電力通過彈性結構轉換為驅動動子向指定方向運動的力。

技術領域

本發明涉及半導體領域，尤其是涉及半導體領域中一種驅動物體運動的方法。

背景技術

半導體是現代工業的基礎，隨著信息化、數字化時代的來臨，電子產品的普及率已經達到了很高的水平，作為電子產品的基本元器件，半導體起到了舉足輕重的地位。在半導體器件進行工作中，有一定的功能需要控制驅動半導體器件進行朝一方向運動，現有技術中往往采用電磁控制或者MEMS的方式控制，在控制精度方面有待提高，此外現有的驅動控制方式需要較大的機械裝置，這與電子集成度需求更高的發展方向是不一致的，因此，在半導體領域如何提供一種驅動物體運動的方法為業內的需求之一。

發明內容

本發明解決的問題是提供一種驅動物體運動的方法，提供至少一個彈性結構、定子、動子；所述彈性結構部分固定于定子上，所述定子、動子均能向所述彈性結構提供靜電力；施加靜電力于彈性結構上，在一定時間內，靜電力向所述彈性結構做功，所述彈性結構積累機械能；

通過控制定子、動子向該彈性結構施加的靜電力的大小、方向、時間，彈性結構的部分機械能轉換為驅動動子向指定方向運動的能量；同時，動子的部分靜電力通過彈性結構轉換為驅動動子向指定方向運動的力。

可選的，所述彈性結構設置有鏤空部。

可選的，所述鏤空部使彈性結構的靜電作用面積減小，剛度減小；其中剛度減小的比例大于靜電作用面積減小的比例。

可選的，所述鏤空部在彈性結構上為不均勻分布，以提高彈性結構驅動動子運動的能力。

可選的，所述鏤空部在接觸或靠近動子和定子的區域分布較少或不設置，在未接觸或遠離動子和定子的區域分布較多。

可選的，所述鏤空部的形狀為長條形、圓形、橢圓形、多邊形的一種或幾種組合。

可選的，提供所述動子向定子方向的對彈性結構的壓力，通過所述壓力保證動子與定子的位置穩定；

所述壓力由外部系統提供、或定子動子之間的靜電吸引裝置提供、或所述動子和彈性結構的靜電吸引提供。

可選的，當所述壓力由所述動子和彈性結構的靜電吸引提供時，通過控制定子、動子向該彈性結構施加的靜電力的大小、方向、時間，使用部分的彈性結構通過靜電力壓靠于動子，保證動子與定子的位置穩定。

可選的，所述彈性結構的頂部區域接觸動子后，動子的部分靜電力或彈性結構的部分機械能致使彈性結構發生形變，彈性結構于指定方向的長度增加。

可選的，提供限位結構，通過限位結構以限位定子和動子的相對距離。

可選的，設置多組多個方向的彈性結構進行驅動，以驅動動子沿水平多個方向運動。

可選的，啟動時，

動子吸引彈性結構發生上下振動，釋放彈性結構使其靠近定子；

定子控制多個彈性結構，使不參與驅動工作的一部分彈性結構吸引至定子，減小這一部分的彈性結構與動子之間的摩擦力；使參與驅動工作的另一部分彈性結構在定子、動子的輪轉吸引作用下驅動動子運動。