[發明專利]一種超大型高精密面板測量儀器

在審

• 申請號: 201711415814.1
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN108107612A
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: 馬觀嵐
• 申請（專利權）人: 江蘇才道精密儀器有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及一種超大型高精度面板測量儀器，具有工作臺；其特征在于：所述工作臺設置在底座上，所述工作臺具有光學玻璃，所述光學玻璃下面安裝有點光源，所述工作臺的垂直方向上橫置有龍門結構的X軸傳動架，所述工作臺的徑向設有Y軸傳動架，金相顯微鏡通過固定板豎直設置在X軸傳動架上，所述X軸傳動架和Y軸傳動架的端部分別連接各自的伺服電機，所述金相顯微鏡的相機鏡頭正對有點光源，本發明的技術方案采用龍門移動式結構，雙邊支撐，橫梁重量輕、采用金相顯微鏡盒水平鏡頭后誤差小，同時減少對絲桿、導軌的磨損，長時間使用測量精度穩定。

技術領域

本發明涉及一種精密儀器，尤其是涉及一種超大型高精密面板測量儀器。

背景技術

現有的液晶大型面板導電離子的觀察和測量精度數據都是通過小型測量儀器進行，同時自動化程度低，其精度和結構不能滿足大型面板的測量需求。

發明內容

本發明的目的是克服現有技術存在的缺陷，提供一種結構移動方便，能夠測量大型面板，且測量精度穩定的一種超大型高精度面板測量儀器。

實現本發明目的的技術方案是：一種超大型高精度面板測量儀器，具有工作臺；其特征在于：所述工作臺設置在底座上，所述工作臺具有光學玻璃，所述光學玻璃下面安裝有點光源，所述工作臺的垂直方向上橫置有龍門結構的X軸傳動架，所述工作臺的徑向設有Y軸傳動架，金相顯微鏡通過固定板豎直設置在X軸傳動架上，所述X軸傳動架和Y軸傳動架的端部分別連接各自的伺服電機，所述金相顯微鏡的相機鏡頭正對有點光源。

更進一步的優化方案是所述的一種超大型高精度面板測量儀器，在所述X軸傳動架上滑動設置有Z軸傳動架，所述金相顯微鏡在所述Z軸傳動架做上下移動，所述Z軸傳動架的頂端電連接Z軸電機。

更進一步的優化方案是所述的一種超大型高精度面板測量儀器，所述X軸傳動架包括X軸同步帶、X軸限位塊和下燈線輪，所述X軸同步帶套接在下燈線輪上并帶動Z軸傳動架在工作臺的X軸方向上移動。

更進一步的優化方案是所述的一種超大型高精度面板測量儀器，所述X軸傳動架上還設有油墨標記，所述油墨標記靠近金相顯微鏡。

更進一步的優化方案是所述的一種超大型高精度面板測量儀器，所述X軸傳動架的兩邊設有橫梁立體支架，所述橫梁立體支架的底部設置在Y軸傳動架上并在所述工作臺的Y軸上滑動，所述橫梁立體支架上設有限位膠固定塊。

更進一步的優化方案是所述的一種超大型高精度面板測量儀器，所述Z軸傳動架上設有水平鏡頭，所述水平鏡頭用于觀測兩側截面。

采用上述技術方案后，本發明具有以下積極的效果：

(1)本發明的技術方案采用龍門移動式結構，雙邊支撐，橫梁重量輕、采用金相顯微鏡盒水平鏡頭后誤差小，同時減少對絲桿、導軌的磨損，長時間使用測量精度穩定。

附圖說明

為了使本發明的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本發明作進一步詳細的說明，其中

圖1為本發明的結構示意圖。

具體實施方式

(實施例1)

見圖1所示，本發明具有一種超大型高精度面板測量儀器，具有工作臺1；所述工作臺1設置在底座2上，所述工作臺1具有光學玻璃3，所述光學玻璃3下面安裝有點光源4，所述工作臺1的垂直方向上橫置有龍門結構的X軸傳動架5，所述工作臺1的徑向設有Y軸傳動架6，金相顯微鏡7通過固定板豎直設置在X軸傳動架5上，所述X軸傳動架5和Y軸傳動架6的端部分別連接各自的伺服電機，所述金相顯微鏡7的相機鏡頭10正對有點光源4。在所述X軸傳動架5上滑動設置有Z軸傳動架8，所述金相顯微鏡7在所述Z軸傳動架8做上下移動，所述Z軸傳動架8的頂端電連接Z軸電機9。