[發明專利]大面積簇射頭組件

有效

• 申請號: 201711414897.2
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108242511B
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 金宰煥
• 申請（專利權）人: TES股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊文娟;臧建明

1.一種大面積簇射頭組件，其特征在于，包括：

背襯板，具備在腔室的上部；

簇射頭，具備在所述背襯板的下部而向基板供給氣體，且所述簇射頭以可實現熱膨脹的方式連接到所述背襯板；以及

連接部，連接所述簇射頭與所述背襯板，其中

所述簇射頭具備沿所述簇射頭的上表面邊緣向上延伸的延伸部，所述延伸部插入所述連接部，并且以可實現熱膨脹的方式連接所述連接部，以支撐所述簇射頭，所述連接部包括：

供所述延伸部插入的槽部或開口部，所述槽部或開口部的容積大于所述延伸部的尺寸，以容納所述延伸部并允許所述簇射頭的熱膨脹；以及

支撐部，具備未固定于所述背襯板的側壁的端部，并且所述端部貫通所述背襯板的所述側壁而固定到所述延伸部，以支撐所述延伸部。

2.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

所述支撐部具備：第一支撐部，沿垂直于所述延伸部的方向緊固而導引所述延伸部因熱膨脹引起的體積變化；以及第二支撐部，以預先確定的角度緊固到所述延伸部而防止所述簇射頭下垂。

3.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

所述支撐部包括螺桿或螺栓，在其端部形成螺紋，貫通所述背襯板的側壁而緊固到所述延伸部。

4.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

所述支撐部在其端部具備球形或曲線形的頭部，在所述延伸部形成插入空間，所述插入空間的體積相對大于所述頭部以供所述頭部插入。

5.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

所述支撐部以所述簇射頭的中央部為中心而配置成放射狀。

6.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

對所述背襯板施加射頻電源，

在所述簇射頭的中央部還具備固定部，所述固定部連接所述背襯板與所述簇射頭而支撐所述簇射頭，將施加在所述背襯板的所述射頻電源傳輸到所述簇射頭。

7.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

對貫通所述開口部的所述延伸部施加射頻電源。

8.根據權利要求1所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

所述連接部還具備間隔調節單元，所述間隔調節單元可調節所述簇射頭與所述基板之間的間隔。

9.根據權利要求8所述的大面積簇射頭組件，其特征在于，

所述間隔調節單元包括螺桿或螺絲，貫通所述簇射頭的下表面而緊固到所述背襯板。