[發(fā)明專利]芯片封裝材料表面清潔裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711413510.1
• 申請日: 2017-12-24
• 公開（公告）號: CN108155123B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樊超
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州賽源微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)大卓悅知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11369
• 代理人: 韓飛

1.一種芯片封裝材料表面清潔裝置，其包括承載板、設(shè)置在承載板左右兩側(cè)的吸塵風(fēng)機和吹掃風(fēng)機、設(shè)置在承載板中間頂部的凈化箱；所述凈化箱設(shè)有存放腔，所述存放腔中設(shè)有多個隔離板將所述存放腔分割成多個獨立腔體；所述存放腔左右兩側(cè)分別設(shè)有過濾板和進口支撐板；所述吸塵風(fēng)機進口連接有進塵管，所述進塵管右端固定連接有進塵腔，所述進塵腔右側(cè)連接有多個除塵管；所述除塵管右側(cè)與設(shè)置在過濾板上的進塵孔一一對應(yīng)；所述吹掃風(fēng)機左側(cè)出口連接有出風(fēng)管；所述出風(fēng)管左端連接有伸縮軟管；所述伸縮軟管左側(cè)連接有出風(fēng)腔，所述出風(fēng)腔左側(cè)連接有多個進風(fēng)管；所述出風(fēng)腔設(shè)置于拉板內(nèi)，所述拉板左側(cè)固定連接有多個柱塞；所述進風(fēng)管設(shè)置在柱塞中；所述進風(fēng)管左端開口設(shè)置在存放腔中所述柱塞分別與設(shè)置在進口支撐板上的入口相對應(yīng)；所述進口支撐板的入口分別與存放腔中被隔離板分割成獨立腔體相對應(yīng)，其特征在于：所述凈化箱的中部穿設(shè)樞轉(zhuǎn)軸，所述樞轉(zhuǎn)軸連接電機，所述電機帶動所述凈化箱圍繞所述樞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動；所述芯片封裝材料表面清潔裝置還包括開關(guān)支架；所述開關(guān)支架相對所述承載板固定；所述開關(guān)支架中間部位設(shè)有螺紋軸；所述螺紋軸左側(cè)連接有門板支架，所述門板支架左側(cè)連接所述拉板；所述承載板的頂部固定連接有連接支架，所述樞轉(zhuǎn)軸的背離所述電機的一端支撐于所述連接支架；

所述樞轉(zhuǎn)軸穿過所述拉板、門板支架及開關(guān)支架；

所述凈化箱轉(zhuǎn)動時，所述拉板、門板支架、開關(guān)支架均相對樞轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。

2.如權(quán)利要求1所述的芯片封裝材料表面清潔裝置，其特征在于：所述螺紋軸右端固定連接有旋轉(zhuǎn)板。

3.如權(quán)利要求2所述的芯片封裝材料表面清潔裝置，其特征在于：所述螺紋軸左端固定連接有固定板，所述固定板設(shè)置在門板支架左側(cè)位置將螺紋軸固定。

4.如權(quán)利要求3所述的芯片封裝材料表面清潔裝置，其特征在于：所述螺紋軸外部設(shè)有外螺紋，所述外螺紋與設(shè)置在連接支架孔上的內(nèi)螺紋相匹配。

5.如權(quán)利要求1所述的芯片封裝材料表面清潔裝置，其特征在于：所述拉板和所述門板支架可沿所述樞轉(zhuǎn)軸移動。