[發明專利]一種精密微動平臺

在審

• 申請號: 201711408685.3
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN107945836A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 鐘博文;孫立寧;王振華
• 申請（專利權）人: 蘇州邁客榮自動化技術有限公司
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;B25H1/14
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙)32257
• 代理人: 耿丹丹,李廣

技術領域

本申請涉及一種精密微動平臺。

背景技術

具有高精度和快速響應的微動工作臺在現代制造技術中具有極其重要的地位，被視為一個國家高技術發展水平的重要標志。在超精密機床中，超精密微動工作臺用于對進給系統進行誤差補償，實現超精密加工；在大規模集成電路制造中，超精密微動工作臺用于光刻設備中進行微定位和微進給；在掃描探針顯微鏡中，超精密微動工作臺用于測量樣品表面形貌，進行納米加工；在生物工程方面，超精密微動工作臺用于完成對細胞的操作，實現生物操作工程化；在醫療科學方面，超精密微動工作臺用于顯微外科手術，以便減輕醫生負擔，縮短手術時間，提高成功率。超精密微動工作臺還被廣泛應用于光纖對接，MEMS系統加工、封裝及裝配，以及電化學加工等領域中。目前，市場上的微動工作臺多為x、y軸的水平調平，不具有調轉角度的功能，不足以滿足實際工作需要。

申請內容

本申請要解決的技術問題是提供一種精密微動平臺。

為了解決上述技術問題，本申請提供了一種精密微動平臺，所述的微動平臺包括一安裝平臺、通過螺紋可旋轉的連接于所述的安裝平臺上的微動上升柱，所述的微動上升柱上設置有一第一擺桿和第二擺桿，所述的安裝平臺上設置有一環形滑軌，所述的第一擺桿上設置有一第一滑塊，所述的第二擺桿上設置有一第二滑塊，所述的第一滑塊和第二滑塊可滑動的設于所述的環形滑軌內，所述的微動平臺還包括用于推動所述的第一擺桿擺動的第一絲桿螺母組件及用于推動所述的第二擺桿擺動的第二絲桿螺母組件。

優選地，所述的第一擺桿和第二擺桿沿所述的微動上升柱的徑向延伸設置，并所述的第一擺桿和第二擺桿位于同一直線上。

優選地，所述的微動平臺還包括一底座，所述的安裝平臺設置在所述的底座上。

優選地，所述的第一絲桿螺母組件包括固定在所述的底座上的第一螺紋套、穿過所述的第一螺紋套并與所述的第一螺紋套相螺紋連接的第一螺桿，所述的第一螺桿沿X軸方向延伸，所述的第一螺桿靠近所述的第一擺桿的端部設置有一第一推動部，所述的第一螺桿遠離所述的第一擺桿的端部設置有一第一旋轉部。

優選地，所述的第二絲桿螺母組件包括固定在所述的底座上的第二螺紋套、穿過所述的第二螺紋套并與所述的第二螺紋套相螺紋連接的第二螺桿，所述的第二螺桿沿X軸方向延伸，所述的第二螺桿靠近所述的第二擺桿的端部設置有一第二推動部，所述的第二螺桿遠離所述的第二擺桿的端部設置有一第二旋轉部。

優選地，所述的第一絲桿螺母組件與所述的第二絲桿螺母組件沿X軸的同一方向分別推動所述的第一擺桿和第二擺桿。

優選地，所述的安裝平臺上設置有一螺紋柱，所述的微動上升柱與所述的螺紋柱通過螺紋連接。

優選地，所述的螺紋柱與所述的環形滑軌同圓心設置。

本申請的一種精密微動平臺，通過旋轉螺桿，能夠推動擺桿，使擺桿在X軸方向實現微動，擺桿帶動微動上升柱旋轉，達到微動上升柱的精密微調，該平臺結構簡單，對微動上升柱的高度的調節非常精密。

附圖說明

圖1是一種精密微動平臺的結構示意圖，

其中：1、微動上升柱；2、安裝平臺；3、底座；11、第一擺桿；12、第二擺桿；21、滑軌；41、第一螺紋套；42、第一螺桿；43、第一推動部；44、第一旋轉部；51、第二螺紋套；52、第二螺桿；53、第二推動部；54、第二旋轉部。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施例對本申請作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好地理解本申請并能予以實施，但所舉實施例不作為對本申請的限定。