[發明專利]基于單根ZnO微米線的非平衡電橋式乙醇氣體傳感器在審
| 申請號： | 201711407892.7 | 申請日： | 2017-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN108088875A | 公開（公告）日： | 2018-05-29 |
| 發明（設計）人： | 馮秋菊;石笑馳;邢妍;李彤彤;李芳;李昀錚;石博 | 申請（專利權）人： | 遼寧師范大學 |
| 主分類號： | G01N27/12 | 分類號： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 大連非凡專利事務所 21220 | 代理人： | 閃紅霞 |
| 地址： | 116000 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微米線 乙醇氣體傳感器 非平衡電橋 單根 檢測器 化學氣相沉積 惠斯通電橋 乙醇氣體 制備工藝 制作方便 膠固定 可變橋 靈敏度 橋壁 用銀 制備 取出 響應 檢測 恢復 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于單根ZnO微米線的非平衡電橋式乙醇氣體傳感器，由敏感材料與三個定值電阻組成惠斯通電橋，其特征在于：所述敏感材料為直徑30~100μm、長度30~40mm 的單根ZnO微米線，所述單根ZnO微米線是按如下步驟制備：
（a）將純度大于99%的ZnO粉末和活性碳粉按照質量比2：1充分混合制成反應源材料，將反應源材料放入石英舟內，然后再將石英舟放入化學氣相沉積系統石英管的中心處；
（b）通入載氣氬氣，氬氣流量為100~300ml/min，當溫度加熱至950~1100℃時通入氧氣，氧氣流量為10~100ml/min，生長時間為30分鐘；
（c）關閉氧氣，保持氬氣流量，降溫至100℃以下，在石英管出氣口處得到ZnO微米線陣列，從ZnO微米線陣列底部剝離出單根ZnO微米線。
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