[發明專利]陣列基板、液晶面板以及液晶顯示裝置

在審

• 申請號: 201711407687.0
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108020971A
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 劉元甫
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1362
• 分類號: G02F1/1362;G02F1/1343
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;黃進

1.一種陣列基板，包括依次形成在襯底基板上的半導體有源層、柵極絕緣層、第一金屬層、層間介質層和第二金屬層，所述陣列基板中設置有行驅動單元，所述行驅動單元包括電容結構，其特征在于，所述電容結構包括第一電容板、第二電容板和第三電容板，所述第一電容板形成于所述半導體有源層中，所述第二電容板形成于所述第一金屬層中，所述第三電容板形成于所述第二金屬層中；其中，所述第一電容板和所述第二電容板在所述襯底基板上的投影至少有部分相互重疊，所述第二電容板和所述第三電容板在所述襯底基板上的投影至少有部分相互重疊，所述第三電容板通過第一過孔電性連接到所述第一電容板。

2.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述層間介質層在位于所述電容結構中的部分的厚度為H1，所述層間介質層在位于所述電容結構之外的部分的厚度為H2，H1<H2。

3.根據權利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述半導體有源層的材料為多晶硅；所述柵極絕緣層和所述層間介質層的材料為SiOx或SiNx，或者是SiOx和SiNx的組合；所述第一金屬層和所述第二金屬層的材料選自Cr、W、Ti、Ta、Mo、Al和Cu中的一種或兩種以上的組合。

4.根據權利要求1-3任一所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板還包括依次設置于所述第二金屬層上的平坦層、第三金屬層和鈍化層，所述電容結構還包括第四電容板，所述第四電容板形成于所述第三金屬層中，所述第四電容板和所述第三電容板在所述襯底基板上的投影至少有部分相互重疊，所述第四電容板通過第二過孔電性連接到所述第二電容板。

5.根據權利要求4所述的陣列基板，其特征在于，所述平坦層和所述鈍化層的材料為SiOx或SiNx，或者是SiOx和SiNx的組合；所述第三金屬層的材料選自Cr、W、Ti、Ta、Mo、Al和Cu中的一種或兩種以上的組合。

6.根據權利要求4所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板還包括設置于所述鈍化層上的像素電極層，所述電容結構還包括第五電容板，所述第五電容板形成于所述像素電極層中，所述第五電容板和所述第四電容板在所述襯底基板上的投影至少有部分相互重疊，所述第五電容板通過第三過孔電性連接到所述第三電容板。

7.根據權利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述鈍化層在位于所述電容結構中的部分的厚度為H3，所述鈍化層在位于所述電容結構之外的部分的厚度為H4，H3<H4。

8.根據權利要求6所述的陣列基板，其特征在于，所述像素電極層的材料為ITO。

9.一種液晶面板，包括相對設置的陣列基板和濾光基板，所述陣列基板和所述濾光基板之間設置有液晶層，其特征在于，所述陣列基板為權利要求1-8任一所述的陣列基板。

10.一種液晶顯示裝置，包括液晶面板及背光模組，所述背光模組提供顯示光源給所述液晶面板，以使所述液晶面板顯示影像，其特征在于，所述液晶面板為權利要求9所述的液晶面板。