[發(fā)明專利]一種激光振動測量系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711405717.4 | 申請日: | 2017-12-22 |
| 公開(公告)號: | CN108225539B | 公開(公告)日: | 2020-07-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊興;嚴(yán)旭;陳華鈞;劉紅魏;宋耀東;宋云峰 | 申請(專利權(quán))人: | 寧波舜宇智能科技有限公司;余姚舜宇智能光學(xué)技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | G01H9/00 | 分類號: | G01H9/00 |
| 代理公司: | 北京謹(jǐn)誠君睿知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11538 | 代理人: | 陸鑫;延慧 |
| 地址: | 315400 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 激光 振動 測量 系統(tǒng) | ||
1.一種激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,包括:
激光單元(1);
聚焦成像單元(2),所述聚焦成像單元(2)與所述激光單元(1)相連接;
調(diào)焦單元(3),所述調(diào)焦單元(3)與所述聚焦成像單元(2)相連接;
控制單元(4),所述控制單元(4)分別與所述聚焦成像單元(2)和所述調(diào)焦單元(3)相連接;
所述聚焦成像單元(2)包括:
聚焦子單元(21),所述聚焦子單元(21)與所述激光單元(1)相連接;
圖像傳感器(22),所述圖像傳感器(22)與所述控制單元(4)相連接,并通過所述聚焦子單元(21)攝取圖像;
所述聚焦子單元(21)包括:后透鏡(211)、第一反射鏡(212)、第一分光鏡(213)、前透鏡組(214)、第一波片(215);
所述后透鏡(211)、所述第一反射鏡(212)、所述第一分光鏡(213)、所述前透鏡組(214)、所述第一波片(215)依次設(shè)置構(gòu)成第一光路;
所述圖像傳感器(22)通過所述第一分光鏡(213)、所述前透鏡組(214)、所述第一波片(215)攝取圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述調(diào)焦單元(3)包括:
調(diào)焦控制器(31),所述調(diào)焦控制器(31)與所述控制單元(4)相連接;
驅(qū)動裝置(32),所述驅(qū)動裝置(32)分別與所述調(diào)焦控制器(31)和所述聚焦成像單元(2)相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述調(diào)焦單元(3)還包括:第一限位開關(guān)(33)和第二限位開關(guān)(34);
所述第一限位開關(guān)(33)和所述第二限位開關(guān)(34)分別與所述調(diào)焦控制器(31)相連接;
所述第一限位開關(guān)(33)和所述第二限位開關(guān)(34)間隔設(shè)置,并且所述驅(qū)動裝置(32)驅(qū)動調(diào)焦機構(gòu)(321)在所述第一限位開關(guān)(33)和所述第二限位開關(guān)(34)之間往復(fù)移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述調(diào)焦控制器(31)包括:
位移控制器(311),用于控制所述驅(qū)動裝置(32)驅(qū)動所述調(diào)焦機構(gòu)(321)的位移;
第一A/D轉(zhuǎn)換器(312),所述第一A/D轉(zhuǎn)換器(312)分別與所述控制單元(4)和所述位移控制器(311)相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述第一限位開關(guān)(33)和所述第二限位開關(guān)(34)分別為光電傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述前透鏡組(214)與所述調(diào)焦機構(gòu)(321)相連接;
所述驅(qū)動裝置(32)驅(qū)動所述調(diào)焦機構(gòu)(321)使所述前透鏡組(214)在所述第一分光鏡(213)和第一波片(215)之間往復(fù)移動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述第一波片(215)為四分之一波片。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述后透鏡(211)為單透鏡。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述后透鏡(211)為非球面單透鏡。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述第一反射鏡(212)為直角反射棱鏡;
所述第一分光鏡(213)為單波長高反射鏡。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振動測量系統(tǒng),其特征在于,所述激光單元(1)包括:
激光發(fā)生器(10),
第二光路子單元(11),所述第二光路子單元(11)分別與所述激光發(fā)生器(10)和所述聚焦成像單元(2)相連接;
第三光路子單元(12),所述第三光路子單元(12)與所述第二光路子單元(11)相連接。
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