[發明專利]一種測量任意表面法向誤差的激光測量裝置與方法

有效

• 申請號: 201711398299.0
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN108007362B
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 凌四營;蔡引娣;陳義磊;毛平;王曉東;王立鼎
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 陳玲玉

1.一種測量任意表面法向誤差的激光測量裝置的測量方法，其特征在于，該激光測量裝置包括：微位移傳遞杠桿、固定座、反射鏡、激光器及激光器姿態調整裝置、數據采集與顯示模塊；其中微位移傳遞杠桿包括測頭、簧片支架、交叉簧片；簧片支架通過交叉簧片固定于固定座上，交叉簧片夾角呈90度，簧片支架兩端伸出臂間夾角呈90度；簧片支架一端點與測頭通過螺紋連接，另一端點與反射鏡通過膠粘連接固定；激光射于反光鏡上，激光器分別與激光器姿態調整裝置和數據采集與顯示模塊連接；

反射鏡平面度小于0.5μm，表面粗糙度為λ/20～λ/5；

激光器具有溫度誤差補償功能；

該測量方法，包括如下步驟：

1)通過調整激光器的姿態，調整光斑到交叉簧片交線的距離等于測點到交叉簧片交線的距離；同時調整激光器的俯仰角和偏擺角，搜索接受反射光強的最大值，以調整激光入射方向與反射鏡垂直；

2)調整測頭的測量方向與零件工作面的法向一致；

3)調整完畢后將激光器鎖緊；

4)通過數據采集與顯示模塊，計算出光斑與接收器距離的變動量，此值即為測點位置的相對變動量，測量過程中同時考慮對溫度誤差進行補償。

2.根據權利要求1所述的測量任意表面法向誤差的激光測量裝置的測量方法，其特征在于，所述交叉簧片采用0.1mm的65Mn鋼通過線切割加工工藝獲得。