[發明專利]氣體濃度控制方法、裝置、存儲介質和計算機設備

在審

• 申請號: 201711395989.0
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN108181943A
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 陳義強;師謙;恩云飛;來萍;黃云;何江;吳謀智
• 申請（專利權）人: 中國電子產品可靠性與環境試驗研究所
• 主分類號: G05D11/13
• 分類號: G05D11/13
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 黃曉慶

1.一種氣體濃度控制方法，其特征在于，包括以下步驟：

獲取真空密封腔體的內外氣壓差數據；

根據預設的目標氣體濃度、填充氣體濃度和所述內外氣壓差數據，分別計算充入填充氣體和充入所述目標氣體時，所述真空密封腔體達到的第一內外氣壓差值理論值和第二內外氣壓差值理論值；

控制充入所述填充氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第一內外氣壓差值理論值；

控制充入所述目標氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第二內外氣壓差值理論值。

2.根據權利要求1所述的氣體濃度控制方法，其特征在于，在所述控制充入所述目標氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第二內外氣壓差值理論值的步驟之后，還包括：

獲取所述真空密封腔體內目標氣體濃度檢測結果。

3.根據權利要求2所述的氣體濃度控制方法，其特征在于，在所述獲取所述真空密封腔體內目標氣體濃度檢測結果的步驟之后，還包括：

當檢測到目標氣體濃度檢測結果大于預設的目標氣體濃度時，獲取所述檢測結果與所述目標氣體濃度差值，并根據所述濃度差值，計算充入所述填充氣體時，所述真空密封腔體達到的第三內外氣壓差值理論值；

控制充入所述填充氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第三內外氣壓差值理論值。

4.根據權利要求3所述的氣體濃度控制方法，其特征在于，在所述控制充入所述填充氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第三內外氣壓差值理論值的步驟之前，還包括：

當檢測到所述第三內外氣壓差值理論值大于預設值時，控制抽取所述真空密封腔體中的氣體并更新所述第三內外氣壓差值理論值，以使更新的第三內外氣壓差值理論值小于預設值。

5.根據權利要求2所述的氣體濃度控制方法，其特征在于，在所述獲取所述真空密封腔體內目標氣體濃度檢測結果的步驟之后，還包括：

當檢測到目標氣體濃度檢測結果小于預設的目標氣體濃度時，獲取所述檢測結果與所述目標氣體濃度差值，并根據所述濃度差值，計算充入所述目標氣體時，所述真空密封腔體達到的第四內外氣壓差值理論值；

控制充入所述目標氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第四內外氣壓差值理論值。

6.一種氣體濃度控制裝置，其特征在于，包括真空密封腔體和充氣控制組件，所述充氣控制組件與所述真空密封腔體連接；

所述充氣控制組件獲取所述真空密封腔體的內外氣壓差數據，根據預設的目標氣體濃度、填充氣體濃度和所述內外氣壓差數據，分別計算充入填充氣體和充入所述目標氣體時，所述真空密封腔體達到的第一內外氣壓差值理論值和第二內外氣壓差值理論值，控制充入所述填充氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第一內外氣壓差值理論值，控制充入所述目標氣體，以使所述真空密封腔體的內外氣壓差值達到所述第二內外氣壓差值理論值。

7.根據權利要求6所述的氣體濃度控制裝置，其特征在于，所述充氣控制組件包括氣壓差傳感器，所述氣壓差傳感器與所述真空密封腔體連接；

所述氣壓差傳感器用于檢測所述真空密封腔體的內外氣壓差。

8.根據權利要求7所述的氣體濃度控制裝置，其特征在于，還包括抽氣組件，所述抽氣組件與所述真空密封腔體連接；

所述抽氣組件用于當計算的氣壓差值理論值大于所述氣壓差傳感器的檢測范圍時，控制抽取所述真空密封腔體中的氣體，以使更新的內外氣壓差值理論值在所述氣壓差傳感器的檢測范圍。

9.一種計算機設備，其特征在于，包括存儲器、處理器及存儲在存儲器上并可在處理器上運行的計算機程序，所述處理器執行所述程序時實現權利要求1-5任意一項所述氣體濃度控制方法的步驟。

10.一種計算機可讀存儲介質，其上存儲有計算機程序，其特征在于，該程序被處理器執行時實現權利要求1-5任一項所述氣體濃度控制方法的步驟。