[發(fā)明專利]一種銅合金鍵合絲及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201711393484.0 | 申請日： | 2017-12-21 |
| 公開（公告）號： | CN108598058B | 公開（公告）日： | 2020-05-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 周振基;周博軒;麥宏全;于鋒波;彭政展;王賢銘 | 申請（專利權）人： | 汕頭市駿碼凱撒有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/49 | 分類號： | H01L23/49;H01L21/48 |
| 代理公司： | 汕頭市潮睿專利事務有限公司 44230 | 代理人： | 林天普;俞詩永 |
| 地址： | 515000 廣東省汕*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 銅合金 鍵合絲 及其 制造 方法 | ||
1.一種銅合金鍵合絲，其特征在于按重量計含有Pd 0.1-1%，微量添加元素1-300 ppm，余量為銅；所述微量添加元素是Ca、In、Co、Be、Ga、Mg、Ni、Pt和Al中的一種或其中兩種以上的組合。
2.權利要求1所述的銅合金鍵合絲的制造方法，其特征在于包括下述步驟：
（1）熔鑄：按比例將Pd和微量添加元素加入到銅原料中，經過真空熔煉和定向連續(xù)引鑄工藝，獲得直徑為6-8毫米的線材；
（2）拉絲：對步驟（1）得到的線材進行拉絲，獲得直徑為50-280μm的銅合金線；
（3）中間退火：步驟（2）拉絲完成后，對銅合金線進行中間退火，在退火過程中采用N2或者氮氫混合氣來做為退火氣氛，退火爐有效長度為600-1000mm，退火溫度為300-600℃，退火速率為60-120m/min；
（4）對經步驟（3）中間退火處理的銅合金線繼續(xù)進行拉絲，獲得直徑為15-40μm的銅合金線；
（5）最后退火：對步驟（4）得到的銅合金線進行最后退火，在退火過程中采用N2或者氮氫混合氣來做為退火氣氛，退火爐有效長度為600-1000mm，退火溫度為300-600℃，退火速率為60-120m/min；
（6）冷卻：最后退火結束后，將銅合金線冷卻至20-30℃，得到所需的銅合金鍵合絲。
3.根據權利要求2所述的銅合金鍵合絲的制造方法，其特征在于：所述步驟（3）和步驟（5）采用的氮氫混合氣由5%(體積)的 H2 和95%(體積) 的N2組成。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于汕頭市駿碼凱撒有限公司，未經汕頭市駿碼凱撒有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201711393484.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：凹槽底部噴膠的埋入芯片封裝方法
- 下一篇：一種引線框架
