[發明專利]高靈敏度硅壓阻式力傳感器

在審

• 申請號: 201711392719.4
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN108225626A
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: B.斯佩爾里奇;R.A.戴維斯
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蘇耿輝;傅永霄

1.一種感測管芯（200），其包括：

包括板（202）的芯片；

由所述板（202）支撐的一個或者多個感測元件（120、124），其中，所述一個或者多個感測元件（120、124）位于離所述板（202）的中心約890 微米（μm）的半徑內；

由所述芯片的第一側支撐的一個或者多個接合盤（130、134），所述一個或者多個接合盤（130、134）中的每一個都電耦合至所述一個或者多個感測元件（120、124）中的至少一個；

設置在所述芯片的所述第一側上的結構框架（104），其中，所述結構框架（104）設置為至少部分地圍繞所述板（202）；以及

延伸通過所述結構框架（104）的一個或者多個電觸頭（106），其中，所述一個或者多個電觸頭（106）電耦合至所述一個或者多個接合盤（130、134）。

2.根據權利要求1所述的感測管芯（200），其中，所述感測元件（120、124）包括壓阻式元件（120、124）。

3.根據權利要求1所述的感測管芯（200），其進一步包括配置為在所述板（202）的中心處或者附近與所述板（202）接觸的致動元件（210）。

4.根據權利要求3所述的感測管芯（200），其中，所述感測元件（120、124）位于離在所述板（202）與所述致動元件（210）之間的接觸點不到約500 μm的半徑內。

5.根據權利要求1所述的感測管芯（200），其中，所述一個或者多個感測元件（120、124）的位置是通過確定將被施加至所述板（202）的估計力與感測元件（120、124）在所述板（202）上的期望位置之間的關系來確定的。

6.一種通過使用感測管芯來感測力的方法，所述方法包括：

提供包括芯片的感測管芯，所述芯片上形成有板；

將力施加至所述感測管芯的所述板；以及

經由附接至所述板的一個或者多個感測元件確定施加至所述板的所述力的大小，其中，所述感測元件位于離所述板的中心約890 μm的半徑內。

7.根據權利要求6所述的方法，其中，施加力包括：使所述板與致動元件接觸。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，所述感測元件位于離在所述板與所述致動元件之間的所述接觸點不到約500 μm的半徑內。

9.根據權利要求7所述的方法，其進一步包括：

對通過致動元件而被施加在所述板上的所述力進行映射；

識別在所述板上的所述力高于周圍區域的一個或者多個熱點；以及

基于所述熱點的位置來確定待定位在所述板上的壓阻式元件的位置。

10.根據權利要求6所述的方法，其中，所述感測元件位于離所述板的所述中心不到約500 μm的半徑內。