[發明專利]真空條件下基于輻射誘導電場的顆粒物清除系統及方法

有效

• 申請號: 201711390031.2
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN108080355B
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 王志浩;丁義剛;白羽;田東波;劉宇明;姜海富;馬子良;劉業楠;沈自才;郎冠卿;于強;楊艷斌
• 申請（專利權）人: 北京衛星環境工程研究所
• 主分類號: B08B6/00
• 分類號: B08B6/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.真空條件下基于輻射誘導電場的顆粒物清除系統，包括真空容器，以及設置在真空容器內的紫外燈和電子槍，紫外燈與電子槍分別設置在紫外-電子輻射間隔板的兩側面上，上述間隔板一端設置在旋轉裝置上并隨其在真空容器中轉動，旋轉裝置經引線通過穿真空法蘭與真空容器外的旋轉裝置驅動裝置電連接，紫外燈和電子槍分別通過引線經過穿真空法蘭與真空容器外的紫外燈電源和電子槍電源電連接，隨著間隔板轉動到一定位置，紫外燈和電子槍將各自輻射的顆粒物產生帶正電顆粒和帶負電顆粒，電子槍電源調整電子槍的輻照電子能量和束流，來改變電場力的大小，由此在正電顆粒和帶負電顆粒之間產生了紫外-電子輻照邊界，在邊界形成了橫向的電場，在其作用下，顆粒物質移動脫離所粘附的材料，進行清除，其中，旋轉裝置驅動裝置調整旋轉裝置的角度，以變化掃描區域。

2.真空條件下基于輻射誘導電場的顆粒物清除方法，包括以下步驟：

1）在真空容器中，將紫外燈與電子槍分別固定設置在同一塊間隔板的兩個側面上，使得間隔板在真空容器中繞一端轉動，以調節紫外燈與電子槍的輻照區域；

2）確定好輻照區域后，調節紫外燈電源，產生準直的紫外輻照區域，受到紫外輻射的顆粒物質，在光致電子發射效應下，荷正電；

3）通過調節電子槍電源來調整電子槍的輻照電子能量和束流，生準直的電子輻照區域，受到電子輻射的顆粒物質，因電子的累積會荷負電，與上述荷正電的顆粒之間產生了紫外-電子輻照邊界，在邊界形成了橫向的電場，且邊界處的電場最大；

4）電場力克服顆粒與材料間粘附力時，則顆粒發生橫向移動，移動的顆粒在運動過程中碰撞臨近顆粒，會引起一系列的顆粒運動，從指定區域清除掉顆粒物質。