[發(fā)明專利]一種基于UV-LIGA技術的微模具制造方法

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• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108193236A
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發(fā)明（設計）人: 郭鐘寧;張會寅;鄧宇;洪文生;麥文豪;王文兵;朱紫紅
• 申請（專利權）人: 廣東工業(yè)大學;佛山市鉻維科技有限公司
• 主分類號: C25D1/00
• 分類號: C25D1/00
• 代理公司: 廣州勝沃園專利代理有限公司 44416
• 代理人: 孫文卉

1.一種基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：清洗并烘干金屬基底；

步驟二：將適量光刻膠倒在金屬基底上后旋涂；

步驟三：前烘，烘烤旋涂后的光刻膠；

步驟四：曝光，使用光刻機曝光；

步驟五：后烘，烘烤曝光后的光刻膠；

步驟六：銀鏡鍍膜，將銀鏡反應液倒在裝有光刻工件的容器上配置好，并快速搖勻后迅速將容器放置在熱水中靜置后取出；

步驟七：顯影，使用PGMEA有機溶劑進行顯影；

步驟八：堅膜，對顯影后的光刻膠進行烘烤；

步驟九：電鑄，選擇脈沖電源進行電鑄。

2.如權利要求1所述的基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于：所述步驟一的清洗先用丙酮超聲清洗，再用去離子水超聲清洗。

3.如權利要求1所述的基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于：所述步驟二根據旋涂轉速為500～900rpm，根據不同旋涂轉速可獲得50～200μm的膠厚。

4.如權利要求1所述的基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于：所述光刻機型號為URE-2000/35型紫外深度光刻機。

5.如權利要求1所述的基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于：所述步驟三烘烤溫度為70-95℃。

6.如權利要求1所述的基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于：所述步驟五烘烤溫度為70-95℃。

7.如權利要求1所述的基于UV-LIGA技術的微模具制造方法，其特征在于：所述步驟九的脈沖電源一個正向周期內導通時間為1-30ms、關斷時間為50-100ms，正向脈沖工作時間為100-600ms，正向電流密度為0.1-2A/dm，一個反向周期內導通時間為1-10ms，關斷時間為1-10ms，方向脈沖工作時間為1-10ms，反向電流密度為0.01-0.1A/dm。