[發明專利]一種大抽速結構緊湊的組合泵

有效

• 申請號: 201711386950.2
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108119329B
• 公開（公告）日: 2019-09-24
• 發明（設計）人: 郭衛斌;薛函迎;柴云川;王瀏杰
• 申請（專利權）人: 南京華東電子真空材料有限公司
• 主分類號: F04B37/02
• 分類號: F04B37/02;F04B37/04;F04B39/06
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 沈根水

1.一種大抽速結構緊湊的組合泵，其特征是由濺射離子泵和吸氣劑泵組合而成，它包括一個或多個并聯的陽極筒組成的用以連接高壓的陽極室，以及至少一個裝在陽極筒內、具有加熱結構并且含有多孔吸氣材料的吸氣劑泵，工作時，將所述組合泵放置在真空腔體中，將陽極筒連接至高壓直流電源的陽極，將多孔吸氣材料連接到高壓直流電源的接地端，抽真空后通過加熱元件將吸氣劑泵通電激活，再在陽極筒周圍加上磁場；

所述的吸氣劑泵，將多孔的吸氣材料與加熱元件裝配在一起就組成了一個吸氣劑泵，其加熱元件在多孔的吸氣材料的內部通過熱傳導加熱，或在多孔吸氣材料的外部通過熱輻射加熱；

所述的多孔的吸氣材料，由吸氣合金粉末制成，中間有孔，厚度1mm的薄片狀，外形是圓形或是矩形，在濺射時，由于電場強度的不同，離中心遠的部分優先濺射，從而將吸氣陰極的濺射區和吸氣區分開，避免吸氣合金吸收的氣體在濺射過程中再次被釋放從而造成系統壓力的波動；

所述的吸氣劑泵，由非蒸散型多孔吸氣材料和加熱結構組成；吸氣劑泵周圍加一保護罩，該保護罩有多個通孔以使氣體得以穿透；

所述的陽極筒是由厚度為0.25mm的316L不銹鋼薄片焊接而成，直徑為10cm，高度為5cm。

2.根據權利要求1所述的一種大抽速結構緊湊的組合泵，其特征是所述的多孔吸氣材料在兩鈦板間，鈦板的一側是磁鐵；

所述的鈦板是相對的兩個，其厚度為0.5mm，外徑為11cm，鈦板也是陰極的一部分，其中一個鈦板中央有1個直徑6mm的圓孔；

所述的多孔吸氣材料，由60%重量的鈦粉、40%重量的鋯釩鐵合金粉混合均勻后，用模具壓制成內徑為6mm，外徑為25mm，高度為1.5mm的圓片，將這些圓片在真空爐中燒結牢固；多孔吸氣材料由鈦墊片分隔開，所述的鈦墊片厚度0.5mm，內徑6mm，外徑8mm。