[發明專利]聚酰亞胺前驅物及其所制得的光刻圖案

在審

• 申請號: 201711386779.5
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN109836578A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 陳锜賢;蔡秉霖;陳鈺佩;陳巧珮;廖彧甫;林世昌;陳貞霓;洪宗泰;陳秋風
• 申請（專利權）人: 臺虹科技股份有限公司
• 主分類號: C08G73/12
• 分類號: C08G73/12;G03F7/004
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

1.一種聚酰亞胺前驅物，其特征在于，該聚酰亞胺前驅物具有如下式(I)所示的重復單元：

于式(I)中，Ar代表衍生自含有四羧酸二酐的四價基團；R₁代表衍生自含有二胺的二價基團；且R₂分別獨立地代表熱交聯基團、感光交聯基團或氫原子。

2.如權利要求1所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，Ar分別獨立地代表且Y代表單鍵、-O-、-CH₂-、-C(CH₃)₂-、-C(CF₃)₂-、-SO₂-或-CO-。

3.如權利要求1所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，R₁分別獨立地代表其中R₁₁代表3至12的整數、其中R₁₂代表2至68的數值，或者其中R₁₄代表9至39的數值，且R₁₃與R₁₅的總和為3至6的數值。

4.如權利要求1所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，R₂包含且「*」代表與式(I)的氧原子鍵結的位置。

5.如權利要求1所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，所述聚酰亞胺前驅物的重復單元的數目為2至150。

6.如權利要求1所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，所述聚酰亞胺前驅物的二分子鏈末端分別具有第一封端基團及第二封端基團，所述第一封端基團是與式(I)的R₁鍵結，且所述第二封端基團是與式(I)的氮原子鍵結。

7.如權利要求6所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，所述第一封端基團及所述第二封端基團分別為熱交聯基團。

8.如權利要求6所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，所述第一封端基團具有-X的結構；所述第二封端基團具有-R₁-X的結構；X分別獨立地代表Ar代表衍生自含有四羧酸二酐的四價基團，R₂分別獨立地代表熱交聯基團、感光交聯基團或氫原子，且「*」代表鍵結位置。

9.如權利要求8所述的聚酰亞胺前驅物，其特征在于，Ar分別獨立地代表且Y代表單鍵、-O-、-CH₂-、-C(CH₃)₂-、-C(CF₃)₂-、-SO₂-或-CO-；R₂包含且「*」代表與氧原子鍵結的位置。

10.一種光刻圖案，其特征在于，所述光刻圖案是藉由對權利要求1至9中的任一項所述的聚酰亞胺前驅物進行光刻制程所制得。