[發明專利]化學浴沉積裝置及其沉積方法、廢液回收系統

在審

• 申請號: 201711386486.7
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108048822A
• 公開（公告）日: 2018-05-18
• 發明（設計）人: 王磊
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C18/12
• 分類號: C23C18/12;H01L31/18;H01L31/0392;C02F1/00;C02F101/20
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 周放;姜溯洲

1.一種化學浴沉積裝置，包括硫化鎘反應槽，其特征在于，所述化學浴沉積裝置還包括：

廢液儲存槽、制冷裝置、過濾裝置、化學液儲存槽和補充供藥裝置；

所述廢液儲存槽的進液口與所述硫化鎘反應槽的出液口相連；

所述廢液儲存槽的出液口與所述制冷裝置的進液口相連；

所述制冷裝置的出液口與所述過濾裝置的進液口相連；

所述過濾裝置的出液口與所述化學液儲存槽的進液口相連；

所述補充供藥裝置用于向所述化學液儲存槽補入化學品；

所述化學液儲存槽的出液口與所述硫化鎘反應槽的進液口相連。

2.根據權利要求1所述的化學浴沉積裝置，其特征在于，還包括：冷卻裝置，包覆在所述廢液儲存槽的外壁上。

3.根據權利要求2所述的化學浴沉積裝置，其特征在于，所述冷卻裝置中的冷卻液為水。

4.根據權利要求1所述的化學浴沉積裝置，其特征在于，所述化學液儲存槽的出液口與所述硫化鎘反應槽的進液口之間設置有第一調節閥；

所述化學液儲存槽的進液口與所述補充供藥裝置的出液口之間設置有第二調節閥。

5.根據權利要求4所述的化學浴沉積裝置，其特征在于，還包括電導率檢測儀，設置在所述化學液儲存槽中，用于測量所述化學液儲存槽中的化學液的電導率。

6.根據權利要求5所述的化學浴沉積裝置，其特征在于，還包括控制裝置，用于根據所述電導率檢測儀測量得到的電導率控制所述第二調節閥的啟閉。

7.根據權利要求1所述的化學浴沉積裝置，其特征在于，還包括低溫維護裝置，設置在所述化學液儲存槽的外壁上，用于保持所述化學液儲存槽內的溫度處于設定的溫度區間。

8.一種如權利要求1所述的化學浴沉積裝置的沉積方法，其特征在于，包括：

將硫化鎘反應槽中的硫化鎘廢液通入到廢液儲存槽中；

將降溫后的廢液通入到制冷裝置中進行制冷；

將制冷后的廢液通入到過濾裝置中進行過濾；

將過濾后的廢液通入到化學液儲存槽中；

利用補充供藥裝置向化學液儲存槽中的化學液加入化學品；

將所述化學液儲存槽中的化學液通入到所述硫化鎘反應槽中；以此循環進行沉積。

9.根據權利要求8所述的硫化鎘層沉積方法，其特征在于，將所述化學液儲存槽中的化學液通入到所述硫化鎘反應槽中之前，所述方法還包括：

監測化學液儲存槽中化學液的電導率，根據測得的電導率數據計算化學液中鎘粒子的含量，從而得到化學品原料的濃度；

當所述化學品原料的濃度達到設定值時，控制第二調節閥關閉，從而停止向化學液儲存槽中的化學液加入化學品。

10.一種廢液回收系統，其特征在于，包括：廢液儲存槽、制冷裝置、過濾裝置和化學液儲存槽；

所述廢液儲存槽的進液口用于與硫化鎘反應槽的出液口相連；

所述廢液儲存槽的出液口與所述制冷裝置的進液口相連；

所述制冷裝置的出液口與所述過濾裝置的進液口相連；

所述過濾裝置的出液口與所述化學液儲存槽的進液口相連。