[發(fā)明專利]轉(zhuǎn)置裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201711385632.4
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108133930B
• 公開（公告）日: 2020-01-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藍(lán)伊奮;吳宗典
• 申請（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號: H01L25/16
• 分類號: H01L25/16;H01L23/552;H01L33/52
• 代理公司: 11805 北京市立康律師事務(wù)所
• 代理人: 梁揮;孟超

一種轉(zhuǎn)置裝置，包括第一及第二電極組、屏蔽元件、驅(qū)動電路及彈性體。第一電極組包括用以配置第一電壓的第一電極及用以配置第二電壓且與第一電極結(jié)構(gòu)上分離的第二電極，其中第一與第二電壓間具有電壓差。與第一電極組相鄰設(shè)置的第二電極組包括用以配置第三電壓的第三電極及用以配置第四電壓且與第三電極結(jié)構(gòu)上分離的第四電極，其中第三與第四電壓間具有電壓差。屏蔽元件配置于基板上且位于第一與第二電極組間。驅(qū)動電路電性連接于第一及第二電極組。彈性體覆蓋第一及第二電極組，其中彈性體具有轉(zhuǎn)置面。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種轉(zhuǎn)置裝置，且特別涉及一種用于轉(zhuǎn)置微型發(fā)光二極管的轉(zhuǎn)置裝置。

背景技術(shù)

轉(zhuǎn)置微型發(fā)光二極管技術(shù)已使用在新興電子裝置的工藝中。以發(fā)光裝置的工藝為例，發(fā)光裝置的工藝包括下列步驟：提供具有多個轉(zhuǎn)置凸塊的彈性轉(zhuǎn)置頭；提供一個發(fā)光陣列，所述發(fā)光陣列包括多個目標(biāo)發(fā)光元件；使彈性轉(zhuǎn)置頭的轉(zhuǎn)置凸塊與目標(biāo)發(fā)光元件接觸，進(jìn)而提取所欲的多個目標(biāo)發(fā)光元件；利用彈性轉(zhuǎn)置頭將目標(biāo)發(fā)光元件轉(zhuǎn)置到接收基板上；在載有多個發(fā)光元件的接收基板上制作其他結(jié)構(gòu)，進(jìn)而完成發(fā)光裝置。然而，當(dāng)擴(kuò)大轉(zhuǎn)置工藝的規(guī)模時，目前使用具有多個轉(zhuǎn)置凸塊的彈性轉(zhuǎn)置頭進(jìn)行轉(zhuǎn)置的方法將面臨工藝良率不高、精度不高且量產(chǎn)不易的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種轉(zhuǎn)置裝置，其應(yīng)用于巨量轉(zhuǎn)置工藝時可達(dá)成良好工藝良率及操作精度，且在進(jìn)行轉(zhuǎn)置操作時可減少電場串?dāng)_現(xiàn)象。

本發(fā)明的轉(zhuǎn)置裝置包括基板、第一電極組、第二電極組、屏蔽元件、驅(qū)動電路及彈性體。第一電極組配置于基板上，且第一電極組包括第一電極及第二電極，第一電極用以配置第一電壓，第二電極用以配置第二電壓且與第一電極結(jié)構(gòu)上分離，其中第一電壓與第二電壓之間具有電壓差。第二電極組配置于基板上且與第一電極組相鄰設(shè)置，其中第二電極組包括第三電極及第四電極，第三電極用以配置第三電壓，以及第四電極用以配置第四電壓且與第三電極結(jié)構(gòu)上分離，其中第三電壓與第四電壓之間具有電壓差。屏蔽元件配置于基板上且位于第一電極組與第二電極組之間。驅(qū)動電路配置于基板上且電性連接于第一電極組及第二電極組。彈性體配置于基板上且覆蓋第一電極組及第二電極組，其中彈性體具有轉(zhuǎn)置面。

基于上述，在本發(fā)明所提出的轉(zhuǎn)置裝置中，通過具有轉(zhuǎn)置面的彈性體覆蓋相鄰的第一電極組及第二電極組，以及屏蔽元件設(shè)置在相鄰的第一電極組與第二電極組之間，其中第一電極組包括用以配置第一電壓的第一電極及用以配置第二電壓的第二電極，第二電極組包括用以配置第三電壓的第三電極及用以配置第四電壓的第四電極，第一電壓與第二電壓之間具有電壓差以及第三電壓與第四電壓之間具有電壓差，使得本發(fā)明的轉(zhuǎn)置裝置可在轉(zhuǎn)置面無設(shè)置任何圖案化結(jié)構(gòu)的情況下達(dá)成轉(zhuǎn)置功能；以及使得第一電極組與第二電極組之間的電場串?dāng)_現(xiàn)象因受到屏蔽元件的屏蔽作用而減少。如此一來，與具有多個轉(zhuǎn)置凸塊的現(xiàn)有轉(zhuǎn)置裝置相比，本發(fā)明的轉(zhuǎn)置裝置可在應(yīng)用于巨量轉(zhuǎn)置工藝時達(dá)成良好工藝良率及操作精度；以及當(dāng)利用本發(fā)明的轉(zhuǎn)置裝置來轉(zhuǎn)置微型發(fā)光二極管時，可以選擇性地轉(zhuǎn)置特定的微型發(fā)光二極管。

以下結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對本發(fā)明的限定。

附圖說明

圖1是依照本發(fā)明的一實施方式的轉(zhuǎn)置裝置的剖視示意圖；

圖2是圖1中的第一電極組、第二電極組與屏蔽元件的配置關(guān)系的俯視示意；

圖3A、圖3B、圖3C、圖3D及圖3E分別是屏蔽元件的變化實施方式的剖視示意圖；

圖4A至圖4D是利用圖1的轉(zhuǎn)置裝置轉(zhuǎn)置微型發(fā)光二極管的方法的剖視示意圖；

圖5是依照本發(fā)明的另一實施方式的轉(zhuǎn)置裝置的剖視示意圖；

圖6是圖5中的第一電極組、第二電極組與屏蔽元件的配置關(guān)系的俯視示意；

圖7是依照本發(fā)明的另一實施方式的轉(zhuǎn)置裝置的剖視示意圖；