[發明專利]用于激勵產生均勻放電高活性等離子體的復合電源裝置有效
| 申請號： | 201711385104.9 | 申請日： | 2017-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN108093551B | 公開（公告）日： | 2020-03-13 |
| 發明（設計）人： | 穆海寶;郭毅豪;姚聰偉;常正實;孫安邦;張冠軍 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | H05H1/24 | 分類號： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 激勵 產生 均勻 放電 活性 等離子體 復合 電源 裝置 | ||
1.一種用于激勵產生均勻放電高活性等離子體的復合電源裝置，其特征在于，包括高壓納秒脈沖電源(10)、低頻交流電源(20)、高通濾波器(40)、低通濾波器(50)和負載(60)；
高壓納秒脈沖電源(10)的輸出與高通濾波器(40)的一端口連接，高通濾波器(40)的另一端口接到負載(60)兩端；低頻交流電源(20)的輸出與低通濾波器(50)的一端口連接，低通濾波器(50)的另一端口接到負載(60)兩端；
還包括延時觸發器(30)；
低頻交流電源(20)設置有觸發輸出端，高壓納秒脈沖電源(10)設置有觸發輸入端，低頻交流電源(20)的觸發輸出端連接到延時觸發器(30)的輸入端，延時觸發器(30)的輸出端連接到高壓納秒脈沖電源(10)的觸發輸入端；
延時觸發器(30)的延時設置為0；
高通濾波器(40)為巴特沃斯構造，采用電感-電容結構；低通濾波器(50)為巴特沃斯構造，采用電感-電容結構；
低通濾波器(50)包括電容C2和電感L1和L3；
低頻交流電源(20)的高壓端與電感L3的一端相連接，電感L3的另一端與電感L1的一端相連接，電感L1的另一端與負載(60)的一端相連接，負載(60)的另一端與低頻交流電源(20)的接地端相連接，電容C2的一端接入電感L1和電感L3之間的電路，電容C2的另一端接地；
高通濾波器(40)包括電容C4、C6和電感L5；
高壓納秒脈沖電源(10)的高壓端與電容C4的一端相連接，電容C4的另一端與電容C6的一端相連接，電容C6的另一端與負載(60)的一端相連接，負載(60)的另一端與高壓納秒脈沖電源(10)的接地端相連接，電感L5的一端接入電容C4和電容C6之間的電路，電感L5的另一端接地；
負載(60)為平行平板電極結構的介質阻擋放電單元，電極為黃銅材質，阻擋介質為氮化鋁陶瓷或陽極氧化鋁；
低通濾波器(50)的截止頻率為1MHz，特征阻抗為2000Ω；L1和L3均為線繞電感，電感值均為318μH，C2為瓷介電容，電容值為160pF；
高通濾波器(40)的截止頻率為100kHz，特征阻抗為2000Ω；電容C4和C6均為瓷介電容，電容值均為800pF，L5為繞線電感，電感值為1.59mH；
低頻交流電源(20)的頻率為50Hz，幅值范圍為0～1kV；高壓納秒脈沖電源(10)的頻率為100Hz，半高寬為20ns，幅值范圍為0～10kV。
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