[發明專利]一種金鈀銀合金復合鍵合絲及其制造方法

在審

• 申請號: 201711384345.1
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108198795A
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 周振基;周博軒;于鋒波;彭政展;麥宏全
• 申請（專利權）人: 汕頭市駿碼凱撒有限公司
• 主分類號: H01L23/49
• 分類號: H01L23/49;H01L21/48;C22C5/02;C22C30/00;B22D11/00;C22F1/14;C25D7/06;C25D5/34;C25D3/48;C25D5/50
• 代理公司: 汕頭市潮睿專利事務有限公司 44230
• 代理人: 林天普;俞詩永

1.一種金鈀銀合金復合鍵合絲，其特征在于包括芯線和包覆在芯線外面的金鍍層；所述芯線按重量計含有金45-72%，銀25-49%，鈀3-6%；所述金鍍層的厚度為20-200nm。

2.權利要求1所述的金鈀銀合金復合鍵合絲的制造方法，其特征在于包括下述步驟：

（1）熔鑄：按比例將金、銀和鈀混合，經過真空熔煉和定向連續引鑄工藝，獲得直徑為6-8毫米的芯線線材；

（2）拉絲：對步驟（1）得到的芯線線材進行拉絲，獲得直徑為15-40 um的芯線；

（3）采用電鍍工藝在步驟（2）獲得的芯線表面上形成金鍍層，金鍍層的厚度為20-200nm，得到鍍金線；

（4）最后退火：步驟（3）電鍍完成后，對鍍金線進行最后退火，在退火過程中采用N₂來做為退火氣氛，退火爐有效長度為600-1000mm，退火溫度為300-600℃，退火速率為60-120m/min；

（5）冷卻：最后退火結束后，將鍍金線冷卻至20-30℃，得到所需的金鈀銀合金復合鍵合絲。

3.根據權利要求2所述的金鈀銀合金復合鍵合絲的制造方法，其特征在于：步驟（2）在拉絲過程中，對線材進行若干次中間退火，在退火過程中采用N₂做為退火氣氛，退火爐有效長度為600-2000mm，退火溫度為500-800℃，退火速率為30-100m/min。

4.根據權利要求2所述的金鈀銀合金復合鍵合絲的制造方法，其特征在于步驟（3）中的電鍍工藝包括下述步驟：

（3-1）脫除有機物處理：將步驟（2）獲得的芯線浸入溫度為70-150℃的丙酮乙醇混合液中，浸入時間為1.4-8秒，脫除芯線表面的有機物；所述丙酮乙醇混合液中丙酮與乙醇的重量比例為1:5-10；

（3-2）脫除氧化物處理：將經過脫除有機物處理的芯線浸入溫度為70-150℃、重量百分比濃度為30-50%的硝酸中，浸入時間為1.4-8秒，脫除芯線表面的氧化物；

（3-3）表面活化處理：將經過脫除氧化物處理的芯線浸入溫度為70-150℃、重量百分比濃度為10-30%的硫酸中，浸入時間為1.4-8秒，對芯線進行表面活化處理；

（3-4）鍍金：將經過表面活化處理的芯線浸入濃度為2-4g/L的鍍金液中，在電鍍電流為0.2-0.8A的條件下鍍金，在芯線的表面上形成厚度為20-200nm的金鍍層，該金鍍層將芯線包覆；

（3-5）清洗：以純水作為清洗液，對包覆有金鍍層的芯線進行超音波清洗；

（3-6）吹干：利用風刀吹去附著在金鍍層表面上的水；

進行電鍍時，以5-30m/min 的速度連續釋放步驟（2）獲得的芯線，芯線依次經過上述脫除有機物處理、脫除氧化物處理、表面活化處理、鍍金、清洗和吹干后，得到鍍金線并收線。

5.根據權利要求4所述的金鈀銀合金復合鍵合絲的制造方法，其特征在于：步驟（3-4）中，采用的鍍金液是氰化金鉀溶液。

6.根據權利要求4所述的金鈀銀合金復合鍵合絲的制造方法，其特征在于：步驟（3-5）中，以純水作為清洗液，對包覆有金鍍層的芯線進行兩道超音波清洗。

7.根據權利要求4所述的金鈀銀合金復合鍵合絲的制造方法，其特征在于：步驟（3-6）中，風刀氣流為N₂，其流速為5-20L/min。