[發明專利]一種具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關

有效

• 申請號: 201711383679.7
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108109879B
• 公開（公告）日: 2019-07-02
• 發明（設計）人: 伍林;張洋洋
• 申請（專利權）人: 上海應用技術大學
• 主分類號: H01H37/46
• 分類號: H01H37/46
• 代理公司: 上海漢聲知識產權代理有限公司 31236
• 代理人: 鄭金榮;胡晶

1.一種具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：它包括襯底、分段式雙層膜電熱驅動單元、基座和電接觸單元，所述分段式雙層膜電熱驅動單元、基座和電接觸單元均位于襯底上，所述分段式雙層膜電熱驅動單元固定設在基座上，基座于襯底固定連接，所述電接觸單元設置在分段式雙層膜電熱驅動單元上方；所述電接觸單元包括靜接觸點、V型支撐梁、柔性彈簧和弧形電接觸質量塊，所述V型支撐梁固定在分段式雙層膜電熱驅動單元上方，弧形電接觸質量塊通過柔性彈簧連接在V型支撐梁上，所述靜接觸點設置在弧形電接觸質量塊上方，靜接觸點與弧形電接觸質量塊相配合，所述靜接觸點與外界電路連接。

2.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述分段式雙層膜電熱驅動單元具有復合弓型的結構。

3.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述分段式雙層膜電熱驅動單元是由兩段相反形狀的雙層膜構成，所述雙層膜為熱膨脹率不同的膜。

4.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述基座的兩側設置有電極，所述電極與驅動電路連接。

5.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述V型 支撐梁的材料為硅或二氧化硅。

6.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述柔性彈簧為蛇形結構的彈簧。

7.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述弧形電接觸質量塊是具有弧形結構的金屬單元，兩邊與柔性彈簧相連接。

8.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述靜接觸點具有弧形結構，弧形結構的曲率半徑與弧形電接觸質量塊相等并與其保持接通或者斷開。

9.如權利要求1所述的具有柔順機構的分段式雙層膜電熱驅動MEMS開關，其特征在于：所述襯底材料為硅或陶瓷。