[發(fā)明專利]一種基于MEMS機制的可調(diào)濾波器

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201711383327.1
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN107861182A
• 公開（公告）日: 2018-03-30
• 發(fā)明（設計）人: 江濤;吳利敏;朱華
• 申請（專利權）人: 黃石晨信光電股份有限公司
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28
• 代理公司: 黃石市三益專利商標事務所42109
• 代理人: 饒卓識

1.一種基于MEMS機制的可調(diào)濾波器，包括底座，底座上方固定裝有MEMS芯片，其特征是：所述底座上方位于MEMS芯片外圍還固定裝有至少兩塊相同厚度的零膨脹玻璃，零膨脹玻璃上方固定裝有一個部分反射鏡A，所述MEMS芯片包括中間開孔的芯片襯底，芯片襯底上制作有上電電極，芯片襯底上方設有懸臂梁結構，懸臂梁可以通過電壓或者電流進行驅(qū)動實現(xiàn)上下伸縮運動，懸臂梁的頂部固定裝有一個位于芯片襯底開孔正上方的鏡托，鏡托上方固定裝有一個部分反射鏡B，部分反射鏡B的重量小于懸臂梁的驅(qū)動力，所述部分反射鏡B與部分反射鏡A平行，部分反射鏡A上表面鍍有增透膜、下表面鍍有部分反射膜，部分反射鏡B上表面鍍有部分反射膜、下表面鍍有增透膜，底座上還裝有熱敏電阻，所述MEMS芯片上還集成有溫度傳感器，熱敏電阻和MEMS芯片分別通過底座與主控板連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種基于MEMS機制的可調(diào)濾波器，其特征是：所述底座為陶瓷材料的基板，基板上鍍有相應圖案，可以將MEMS芯片的上電電極引導出來，方便加電。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種基于MEMS機制的可調(diào)濾波器，其特征是：所述鏡托為圓形。