[發明專利]一種無源加熱式微型氣動泵

在審

• 申請號: 201711382550.4
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN107939634A
• 公開（公告）日: 2018-04-20
• 發明（設計）人: 黃繼寶;錢金貴;冮建華;黃波
• 申請（專利權）人: 愛科賽智能科技（臺州）有限公司
• 主分類號: F04B19/24
• 分類號: F04B19/24;F04B53/08;G03F7/00
• 代理公司: 杭州新源專利事務所(普通合伙)33234
• 代理人: 余冬

1.一種無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：包括流動板(11)，流動板(11)頂部設有蓋板(12)，流動板(11)底部設有無線加熱板(10)；所述流動板(11)上設有出水管(3)，出水管(3)經管道(4)連接有蓄水管(5)，蓄水管(5)經擴張器(6)連接有加熱腔(7)；所述蓋板(12)上設有出口(1)和入口(2)，出口(1)與出水管(3)連通，入口(2)與蓄水管(5)連通；所述無線加熱板(10)上設有位于加熱腔(7)下方的LC加熱器(8)，LC加熱器(8)下方設有發射線圈(9)。

2.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述擴張器(6)的開角為10-12°，所述加熱腔(7)的深度分別比出水管(3)、管道(4)、蓄水管(5)和擴張器(6)深0.5mm-0.8mm。

3.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述加熱腔(7)內設有氣體，氣體為氮氣、二氧化碳、氧氣或空氣。

4.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述出口(1)和入口(2)為通孔結構，其直徑為1-2mm。

5.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述LC加熱器(8)為利用光刻工藝制作出一層螺旋圖案銅電極；螺旋圖案銅電極的寬度為100-200μm，間隙為50-100μm，厚度為15-20μm。

6.根據權利要求5所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述光刻工藝的制備過程如下：

①準備一張聚酰亞胺薄膜并分別用酒精、丙酮和去離子水依次進行清洗；

②利用磁控濺射系統在該聚酰亞胺薄膜表面蒸鍍一層銅材料層，利用旋涂技術將光刻膠均勻的覆蓋在銅材料層上面，并將制作好的具有螺旋圖案的掩膜版放在光刻機內并進行曝光；

③將曝光后的聚酰亞胺薄膜放在對應的光刻膠刻蝕液內后取出，使得光刻膠層形成了相應的螺旋圖案；

④對銅材料層進行刻蝕，實現螺旋圖案的轉移；

⑤將剩余的光刻膠全部去除，最后用去離子水對薄膜進行清洗，得成品。

7.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述無線加熱板(10)為聚酰亞胺薄膜材料，厚度范圍為50-100μm。

8.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述管道(4)的最大寬度為0.4-0.5mm。

9.根據權利要求1所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于：所述蓋板(12)和流動板(11)由聚二甲基硅氧烷、聚乳酸、聚羥基烷酸酯、淀粉塑料、聚烯烴或聚氯乙烯構成；或由聚甲基丙烯酸甲酯、ABS樹脂或硅橡膠構成。

10.根據權利要求1-9任一項所述的無源加熱式微型氣動泵，其特征在于，所述無源加熱式微型氣動泵的噴出方法是：外界的液體由入口進入流動板并存儲在蓄水管中，該液體經過推送流經管道到達出水管，并由出口流出并與外界的接收通道相連接，當外界磁場所提供的頻率和無線加熱板的頻率所匹配時，LC加熱器開始工作并產生電流，從而向周圍散發熱量，該熱量可以對加熱腔內的氣體進行連續加熱，基于空氣加熱產生的體積膨脹來推動已經存留在蓄水管里的液體流經管道在出口處噴出。