[發明專利]具有沉積的疏水性薄膜的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器在審
| 申請號： | 201711382214.X | 申請日： | 2017-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN109211823A | 公開（公告）日： | 2019-01-15 |
| 發明（設計）人： | 李承煥;李根憲;呂炯基;金真浩 | 申請（專利權）人： | 韓國交通大學校產學合作團;株式會社修馬斯 |
| 主分類號： | G01N21/3504 | 分類號： | G01N21/3504 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 龐東成;武胐 |
| 地址： | 韓國忠*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 反射器 疏水性薄膜 沉積 氣體傳感器 反射表面 非色散 紅外二氧化碳 池型 二氧化碳氣體傳感器 紅外氣體傳感器 第二檢測器 第一檢測器 安置 二氧化碳 光源 測量 | ||
1.一種非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其沉積有疏水性薄膜，其中
在用于測量氣體中所包含的二氧化碳的濃度的二氧化碳氣體傳感器中，所述氣體傳感器是懷特池型，
在所述懷特池中，第一反射器(120)和第二反射器(130)被設置成面向第三反射器(140)，
光源(110)安置于第三反射器(140)的一側，而第一檢測器(150)和第二檢測器(160)安置于另一側，并且
第一反射器(120)、第二反射器(130)和第三反射器(140)的反射表面的至少一部分沉積有疏水性薄膜。
2.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，第一疏水性薄膜(122)沉積于第一反射器(120)的整個反射表面上，第二疏水性薄膜(132)沉積于第二反射器(130)的整個反射表面上，且第三疏水性薄膜(142)沉積于第三反射器(140)的整個反射表面上。
3.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，所述疏水性薄膜包括派瑞林、OTS和氟硅烷中的一種。
4.如權利要求3所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，所述疏水性薄膜包括派瑞林-C。
5.如權利要求4所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，所述派瑞林-C的沉積厚度為0.2μm至0.7μm。
6.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，所述派瑞林-C的沉積厚度為0.5μm。
7.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，第二檢測器(160)是參照檢測器，且在第一檢測器(150)的前方還安置有菲涅爾透鏡(152)。
8.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，第二檢測器(160)是參照檢測器，且在第二檢測器(160)的前方還安置有保護窗(115)和中空盤(167)。
9.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，在光源(110)的前方還安置有保護窗(115)。
10.如權利要求1所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，在第一反射器(120)、第二反射器(130)和第三反射器(140)的附近進一步安裝有加熱器。
11.如權利要求10所述的非色散紅外二氧化碳氣體傳感器，其中，在第一反射器(120)和第二反射器(130)的附近進一步安裝有第二加熱器(240)，且在第三檢測器(140)的附近進一步安裝有第一加熱器(230)。
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