[發明專利]基于分束窗結構的微小型分束器

在審

• 申請號: 201711380864.0
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN108180990A
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 呂金光;孟德佳;陶金;秦余欣;梁靜秋;王維彪;梁中翥
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210
• 代理人: 陶尊新

1.基于分束窗結構的微小型分束器，其特征是，包括柵網分束器和柵條分束器，所述柵網分束器和柵條分束器均由柵棱、分束窗和分束膜組成，所述柵棱對分束器進行空間分割形成分束窗陣列，分束膜位于分束窗上表面或分束窗和柵棱的上表面，柵棱對分束膜起支撐作用；

所述柵網分束器中的柵棱寬度范圍為1nm-100cm，分束窗寬度范圍為1nm-100cm；柵棱厚度范圍為1nm-100cm，分束窗厚度范圍為1nm-100cm；

所述柵網分束器中的柵棱的剖面結構為單面矩形、單面平行四邊形、單面梯形、雙面矩形、雙面平行四邊形或雙面梯形。

2.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵條分束器中，柵棱的寬度范圍為1nm-100cm，分束窗寬度范圍為1nm-100cm；柵棱厚度范圍為1nm-100cm，分束窗厚度范圍為1nm-100cm。

3.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵網分束器中的柵棱在橫向的寬度是其縱向寬度的倍，分束窗在橫向的寬度是其縱向寬度的倍，分束窗在橫向和縱向的占空比相同。

4.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，所述柵棱與分束窗的材料相同或不同。

5.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵網分束器和柵條分束器中，水平方向的柵棱與垂直方向的柵棱的結構相同或不同。

6.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵網分束器或柵條分束器中的柵棱寬度為1μm-10μm時，分束窗的寬度為100μm-2000μm；柵棱厚度為100μm-500μm時，分束窗的厚度為10μm-100μm。

7.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵網分束器或柵條分束器中的柵棱寬度為0.5μm-2μm時，分束窗的寬度為50μm-250μm；柵棱厚度為20μm-50μm時，分束窗的厚度為100nm-10μm。

8.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵網分束器或柵條分束器中的柵棱寬度為50μm-1000μm時，分束窗的寬度為1000μm-10000μm；柵棱厚度為500μm-3000μm時，分束窗的厚度為200μm-1000μm。

9.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵網分束器中的柵棱材料為金屬、非金屬無機材料或有機材料，分束窗材料為非金屬無機材料或有機材料。

10.根據權利要求1所述的基于分束窗結構的微小型分束器，其特征在于，柵條分束器中的柵棱材料為金屬、非金屬無機材料或有機材料，分束窗材料為非金屬無機材料或有機材料。