[發(fā)明專利]基于八邊形熱電堆結(jié)構(gòu)的風(fēng)速風(fēng)向傳感器及其制備方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201711380409.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-20
• 公開（公告）號(hào): CN108169509A
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 易真翔;葉一舟;秦明;黃慶安
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號(hào): G01P5/10
• 分類號(hào): G01P5/10;G01P13/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 馮艷芬

1.一種基于八邊形熱電堆結(jié)構(gòu)的風(fēng)速風(fēng)向傳感器，其特征在于：包括硅襯底、位于硅襯底上方的絕緣層、以及位于絕緣層上的加熱電阻和8個(gè)熱電堆，所述加熱電阻的形狀為正八邊形，正八邊形的每條邊外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)與該邊傾斜角度一致的熱電堆。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于八邊形熱電堆結(jié)構(gòu)的風(fēng)速風(fēng)向傳感器，其特征在于：所述加熱電阻還設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)電接觸塊，所述導(dǎo)電接觸塊位于熱電堆外側(cè)，兩個(gè)導(dǎo)電接觸塊分別通過(guò)引線連接加熱電阻的兩邊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于八邊形熱電堆結(jié)構(gòu)的風(fēng)速風(fēng)向傳感器，其特征在于：每個(gè)所述熱電堆都設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)電接觸塊，每個(gè)導(dǎo)電接觸塊分別連接對(duì)應(yīng)熱電堆的一個(gè)線端，并位于對(duì)應(yīng)熱電堆的外側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于八邊形熱電堆結(jié)構(gòu)的風(fēng)速風(fēng)向傳感器，其特征在于：所述絕緣層具體為二氧化硅層。

5.一種權(quán)利要求1所述的基于八邊形熱電堆結(jié)構(gòu)的風(fēng)速風(fēng)向傳感器的制備方法，其特征在于包括以下步驟：

(1)準(zhǔn)備硅襯底；

(2)氧化，在硅襯底上方生長(zhǎng)一層絕緣層；

(3)濺射，刻蝕，形成加熱電阻和熱電堆的金屬熱偶臂及其導(dǎo)電接觸塊；

(4)蒸發(fā)，刻蝕，形成下層熱電堆的多晶硅熱偶臂。